[发明专利]喷洒装置、显影系统和显影方法在审
| 申请号： | 201810402738.9 | 申请日： | 2018-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN110412837A | 公开（公告）日： | 2019-11-05 |
| 发明（设计）人： | 赵俊;任书铭 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 王宏婧 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种喷洒装置、显影系统和显影方法，喷洒装置包括：喷刀、喷刀控制单元，所述喷刀用于喷洒液体，所述喷刀包括第一刀片和第二刀片，所述第一刀片的刀口和所述第二刀片的刀口相对以形成所述喷刀的出口，所述第一刀片的刀口能够相对所述第二刀片的刀口移动以调节所述出口的大小，所述喷刀控制单元用于控制所述第一刀片的移动。在本发明提供的喷洒装置、显影系统和显影方法中，在向基片喷射显影液之前先使第一刀片相对第二刀片移动以使喷刀出口增大，进一步可以预喷显影液清除喷刀出口的杂质，解决喷刀因杂质造成的堵塞，提高喷刀喷射的显影液的均匀性，最终提高产品显影后图形的均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 刀片 喷洒装置 刀口 显影 显影系统 显影液 均匀性 出口 喷射 刀片移动 移动 预喷 喷洒 堵塞 | ||
【主权项】：
1.一种喷洒装置，其特征在于，所述喷洒装置包括：喷刀、喷刀控制单元，所述喷刀用于喷洒液体，所述喷刀包括第一刀片和第二刀片，所述第一刀片的刀口和所述第二刀片的刀口相对以形成所述喷刀的出口，所述第一刀片的刀口能够相对所述第二刀片的刀口移动以调节所述出口的大小，所述喷刀控制单元用于控制所述第一刀片的移动。
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