[发明专利]一种晶片加热装置及晶片加热装置的制造方法

摘要

一种晶片加热装置及晶片加热装置的制造方法，涉及一种加热装置及制造方法。均热板板面按阵列排布设置有多个通孔，均热板内部有蛇形迂回内腔，蛇形迂回内腔与多个通孔相配合并错位设置，加热电阻丝匹配布置在蛇形迂回内腔内，均热板上表面每个通孔对应位置固定有耐热橡胶套，耐热橡胶套为圆筒状，多根导热圆杆分别紧密穿过一个耐热橡胶套并竖向插装在对应的通孔内，每根导热圆杆下端固定导热片，多个导热片可拼接成整张，每根导热圆杆上端固定绝热橡胶头，基底座上表面为平面并设有绝热层，均热板通过四根立柱与基底座固接。可根据需求下压不同位置不同数量的导热件，从而对晶片局部位置或整体进行加热，满足不同的加热需求。

主权项

1.一种晶片加热装置，其特征在于：包括均热板（1）、基底座（7）、加热电阻丝（8）、四根立柱（6）以及多个导热件，所述的均热板（1）水平设置且其板面按阵列排布设置有多个通孔，均热板（1）内部设置有蛇形迂回内腔，所述的蛇形迂回内腔与所述的多个通孔相配合并错位设置，所述的加热电阻丝（8）匹配布置在蛇形迂回内腔内并采用外接电源供电，均热板（1）上表面每个通孔对应位置固定有耐热橡胶套（2），每个所述的耐热橡胶套（2）为圆筒状，所述的多个导热件均包括导热圆杆（3）及导热片（4），多根所述的导热圆杆（3）分别紧密穿过一个耐热橡胶套（2）并竖向插装在对应的通孔内，每根导热圆杆（3）下端水平固定一个导热片（4），多个所述的导热片（4）可拼接成整张，每根导热圆杆（3）上端固定一个绝热橡胶头（5），所述的基底座（7）间隔设置于均热板（1）下方，基底座（7）上表面为平面并设有绝热层（7‑1），均热板（1）下表面四角通过四根立柱（6）与基底座（7）上表面固接。