[发明专利]微波等离子体化学气相沉积装置和合成金刚石的方法有效
| 申请号： | 201810408707.4 | 申请日： | 2018-05-02 |
| 公开（公告）号： | CN108588819B | 公开（公告）日： | 2020-10-30 |
| 发明（设计）人： | 马懿;马修·L·斯卡林;朱金华;吴建新;缪勇;卢荻;艾永干;克里斯托弗·E·格里芬 | 申请（专利权）人： | FD3M公司 |
| 主分类号： | C30B25/02 | 分类号： | C30B25/02;C30B29/04;C23C16/27;C23C16/517;C23C16/511;C23C16/513 |
| 代理公司： | 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256 | 代理人： | 王锋;王茹 |
| 地址： | 美国加利福尼亚*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种微波等离子体化学气相沉积装置，包括设置于谐振腔内的反射板和基板，反射板和基板相对设置，所述反射板上镂空有至少一窗口，该反射板至少背离所述基板的表面为电磁波反射面，所述基板面向所述窗口的一侧为一金刚石生长侧。本申请还公开了一种微波等离子体化学气相沉积合成金刚石的方法。本发明通过双升降结构，不仅可以控制等离子在腔体内上下高度可以调节，而且籽晶相对于等离子的位置也亦可以调节。此方法可以很好的控制等离子在腔体内垂直方向的位置，也可以很好的控制籽晶生长环境的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 微波 等离子体 化学 沉积 装置 合成 金刚石 方法 | ||
【主权项】：
1.一种微波等离子体化学气相沉积装置，其特征在于，包括设置于谐振腔内的反射板和基板，反射板和基板相对设置，所述反射板上镂空有至少一窗口，该反射板至少背离所述基板的表面为电磁波反射面，所述基板面向所述窗口的一侧为一金刚石生长侧。
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