[发明专利]微波等离子体化学气相沉积装置和金刚石的合成方法在审
| 申请号： | 201810408710.6 | 申请日： | 2018-05-02 |
| 公开（公告）号： | CN108588820A | 公开（公告）日： | 2018-09-28 |
| 发明（设计）人： | 马懿;马修·L·斯卡林;朱金华;吴建新;缪勇;卢荻;艾永干;克里斯托弗·E·格里芬 | 申请（专利权）人： | FD3M公司 |
| 主分类号： | C30B25/02 | 分类号： | C30B25/02;C30B29/04;C23C16/27;C23C16/517;C23C16/511;C23C16/513 |
| 代理公司： | 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256 | 代理人： | 王锋;王茹 |
| 地址： | 美国加利福尼亚*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本申请公开了一种微波等离子体化学气相沉积装置，采用等离子体天线作为耦合天线。本申请还公开了一种金刚石的合成方法，采用等离子体天线作为耦合天线，通过微波等离子体化学气相沉积方法合成金刚石。本申请还公开了微波等离子体化学气相沉积装置在单晶金刚石合成中的应用。本发明的微波等离子体化学气相沉积装置，采用等离子体天线进行耦合，可以极大的提高天线的效率。 | ||
| 搜索关键词： | 微波等离子体化学气相沉积 等离子体天线 金刚石 合成 耦合天线 申请 单晶金刚石 耦合 天线 应用 | ||
【主权项】：
1.一种微波等离子体化学气相沉积装置，采用等离子体天线作为耦合天线。
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