[发明专利]一种超高纯度气体输送用不锈钢管制备工艺在审
申请号: | 201810410786.2 | 申请日: | 2018-05-02 |
公开(公告)号: | CN108330530A | 公开(公告)日: | 2018-07-27 |
发明(设计)人: | 陶然;吴磊刚 | 申请(专利权)人: | 宣城品宙洁净科技有限公司 |
主分类号: | C25F3/24 | 分类号: | C25F3/24;C23C22/50;C23C22/82 |
代理公司: | 南京正联知识产权代理有限公司 32243 | 代理人: | 郭俊玲 |
地址: | 242100 安徽省宣*** | 国省代码: | 安徽;34 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本发明公开了一种超高纯度气体输送用不锈钢管制备工艺,包括以下步骤:1)原料光亮退火不锈钢管准备;2)电解抛光处理;3)第一次纯水漂洗;4)第二次纯水漂洗;5)酸洗钝化;6)第三次纯水漂洗;7)第四次加热纯水漂洗;8)最终超纯水验证;9)热氮气吹干;10)套管帽;该制备工艺解决了现有抛光技术抛光效果不佳、管内洁净度不高以及废水处理不合理且环境影响严重的问题。 | ||
搜索关键词: | 纯水漂洗 超高纯度气体 不锈钢 电解抛光处理 管制 不锈钢管 光亮退火 环境影响 加热纯水 抛光技术 抛光效果 酸洗钝化 制备工艺 废水处理 超纯水 洁净度 热氮气 套管帽 漂洗 吹干 管内 验证 | ||
【主权项】:
1.一种超高纯度气体输送用不锈钢管制备工艺,其特征在于,包括以下步骤:1)原料光亮退火不锈钢管准备;2)电解抛光处理:电解抛光溶液由浓度98%的工业硫酸与浓度85%的工业磷酸配比而成,并添加去离子水,在室温下,将比重调节至1.5‑2.0,将混合酸加入电解液槽,使用电加热器加热并控制酸液温度为60℃,电解抛光时间30分钟;3)第一次纯水漂洗:漂洗时间4‑6分钟,漂洗后沥干管内水分;4)第二次纯水漂洗:漂洗时间4‑6分钟,漂洗后沥干管内水分;5)酸洗钝化:钝化液为质量百分比为20% ‑ 35%的硝酸溶液,将产品放入钝化槽中钝化,钝化时间10 ‑ 30分钟,随后沥干管内硝酸溶液;6)第三次纯水漂洗:漂洗时间4‑6分钟,漂洗后沥干管内水分;7)第四次加热纯水漂洗:纯水温度加热至60℃以上,漂洗时间4‑6分钟,漂洗后沥干管内水分;8)最终超纯水验证:将18MΩ*cm超纯水由纯水回路中引出并从不锈钢管内壁流过;9)热氮气吹干:在无尘室中使用热高纯氮气吹干,使用在线电热器加热至60摄氏度以上;10)套管帽。
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