[发明专利]一种Ⅱ-类超晶格红外探测器吸收区结构在审

专利信息
申请号: 201810410863.4 申请日: 2018-05-02
公开(公告)号: CN108493273A 公开(公告)日: 2018-09-04
发明(设计)人: 詹健龙;菇国海 申请(专利权)人: 嘉兴风云科技有限责任公司
主分类号: H01L31/0304 分类号: H01L31/0304;H01L31/09
代理公司: 嘉兴启帆专利代理事务所(普通合伙) 33253 代理人: 程开生
地址: 314000 浙江省嘉兴市经济技术开发*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明公开了一种Ⅱ‑类超晶格红外探测器吸收区结构,吸收区由若干层超晶格层依次叠加构成,每层超晶格层从下往上依次包括有InAs层、第一类GaAs界面、第一GaSb层、第一InSb层、第二GaSb层、第二InSb层、第三GaSb层、第二类GaAs界面。本发明的Ⅱ‑类超晶格红外探测器吸收区结构,吸收波长可以分别针对短波红外(SWIR,1‑3微米)、中波红外(MWIR,3‑5微米)、长波红外(LWIR,8‑12微米)、甚长波红外(VLWIR,12‑30微米)波段进行高效的吸收。
搜索关键词: 吸收区 红外探测器 超晶格 长波 超晶格层 吸收波长 依次叠加 波段 短波 吸收
【主权项】:
1.一种Ⅱ‑类超晶格红外探测器吸收区结构,其特征在于,所述吸收区由若干层超晶格层依次叠加构成,每层超晶格层从下往上依次包括有InAs层、第一类GaAs界面、第一GaSb层、第一InSb层、第二 GaSb层、第二InSb层、第三GaSb层、第二类GaAs界面。
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