[发明专利]硅棒夹持装置、硅棒转换装置及硅棒加工机在审
申请号: | 201810411375.5 | 申请日: | 2018-05-02 |
公开(公告)号: | CN110450042A | 公开(公告)日: | 2019-11-15 |
发明(设计)人: | 卢建伟;李鑫 | 申请(专利权)人: | 上海日进机床有限公司 |
主分类号: | B24B37/00 | 分类号: | B24B37/00;B24B37/08;B24B37/27;B24B37/28;B24B37/34 |
代理公司: | 31309 上海巅石知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人: | 张明;王再朝<国际申请>=<国际公布>= |
地址: | 201601上海*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本申请公开一种硅棒夹持装置、硅棒转换装置及硅棒加工机,该硅棒夹持装置包括:相对设置的第一夹持件和第二夹持件;夹紧驱动机构,用于驱动所述的第一夹持件和第二夹持件中的至少一者作横向移动以使得第一夹持件和第二夹持件将待加工的硅棒以横卧方式予以夹持。本申请可利用硅棒夹持装置将待加工的硅棒以横卧方式予以夹持,并利用硅棒研磨装置通过横向移动来对横卧的硅棒进行研磨作业,实现硅棒在横卧方式下完成研磨作业,具有结构简单、硅棒保持稳定度高、硅棒研磨装置行进稳定、以及硅棒研磨效率高等优点。 | ||
搜索关键词: | 硅棒 夹持件 横卧 夹持装置 研磨装置 研磨 夹持 夹紧驱动机构 硅棒加工 相对设置 研磨效率 转换装置 稳定度 申请 加工 行进 驱动 | ||
【主权项】:
1.一种硅棒夹持装置,其特征在于,包括:/n相对设置的第一夹持件和第二夹持件;以及/n夹紧驱动机构,用于驱动所述的第一夹持件和第二夹持件中的至少一者作横向移动以使得第一夹持件和第二夹持件将待加工的硅棒以横卧方式予以夹持。/n
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