[发明专利]一种具有多个热丝装置的CVD金刚石涂层设备有效
| 申请号： | 201810412850.0 | 申请日： | 2018-05-03 |
| 公开（公告）号： | CN108396308B | 公开（公告）日： | 2023-06-09 |
| 发明（设计）人： | 夏海全;陈汉泉;孙交锴;张平;王少良 | 申请（专利权）人： | 广东鼎泰高科精工科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/27 | 分类号： | C23C16/27;C23C16/458;C23C16/46 |
| 代理公司： | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201 | 代理人： | 潘俊达 |
| 地址： | 523000 广东省东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明属于真空镀膜的技术领域，具体涉及一种具有多个热丝装置的CVD金刚石涂层设备，包括腔体装置(1)、多个热丝装置(2)、主架装置(3)、冷却装置(4)和驱动装置(5)，所述主架装置(3)设置于所述腔体装置(1)内，所述主架装置(3)包括机架(31)及均布于所述机架(31)的多个载物台(32)，所述机架(31)与所述驱动装置(5)的输出端连接，多个所述载物台(32)分别对应于多个所述热丝装置(2)，且多个所述载物台(32)均与所述冷却装置(4)连通。本发明采用多个热丝装置的设计，能够提高涂层过程安全系数，满足同一批次涂层产品的不同种类的要求，使涂层过程更加高效、安全、灵活。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 多个热丝 装置 cvd 金刚石 涂层 设备 | ||
【主权项】：
1.一种具有多个热丝装置的CVD金刚石涂层设备，其特征在于：包括腔体装置(1)、多个热丝装置(2)、主架装置(3)、冷却装置(4)和驱动装置(5)，所述主架装置(3)设置于所述腔体装置(1)内，所述主架装置(3)包括机架(31)及均布于所述机架(31)的多个载物台(32)，所述机架(31)与所述驱动装置(5)的输出端连接，多个所述载物台(32)分别对应于多个所述热丝装置(2)，且多个所述载物台(32)均与所述冷却装置(4)连通。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
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