[发明专利]一种探测器用金属纳米阵列电极及其制备方法

摘要

本发明涉及一种探测器用金属纳米阵列电极及其制备方法，该电极为高度有序的金属纳米阵列结构，该透明电极的金属纳米阵列厚度为10～50nm；金属纳米阵列的微孔间宽度为10～100nm；金属纳米阵列孔径为50～500nm。其制备方法为：用单分散聚苯乙烯微球组装单层胶体晶体模板，然后利用磁控溅射技术，向模板缝间沉积金属，溅射时间5～10分钟；最后，经有机溶剂超声清洗20～30分钟去除聚苯乙烯微球模板，得到所述透明电极。本发明的透明电极的金属纳米阵列结构可以兼顾高透光率、高导电率、高柔性和低成本等基本要素，在光电器件、光探测器以及半导体发光等方面有广泛的用途；本发明的制备方法工艺简单、易于操作。

主权项

1.一种探测器用金属纳米阵列电极，其特征在于：该电极为有序的金属纳米阵列结构，金属纳米阵列中微孔(1)的孔径D为50～500nm，金属纳米阵列厚度H为10～50nm，金属纳米阵列微孔间宽度L为孔径D的1/4～1/5。