[发明专利]一种硅片清洗工艺

摘要

本发明公开了一种硅片清洗工艺，包括壳体，所述壳体内腔顶部的中端固定连接有紫外线灯管，且壳体内腔的底部固定连接有加热丝，所述壳体内腔的左下端固定连接有支撑板，且支撑板的顶端固定连接有套筒，所述套筒内腔的底部通过弹簧活动连接有刮杆，且刮杆的顶端固定连接有橡胶板，所述壳体内表面的中端活动安装有调节轮，壳体左侧的下端固定连接有第一支撑架，且第一支撑架内表面的左端活动安装有从动轮。本发明通过本工艺清洗的硅片，其具有清洗效果好、清洗速率快，且具有连续工业化清洗的优点，同时通过烘干装置，可有效对清洗完成后的硅片进行高效节能烘干处理，符合国家节能减排需求以及企业自身的利益。

主权项

1.一种硅片清洗工艺，包括壳体（1），其特征在于：所述壳体（1）内腔顶部的中端固定连接有紫外线灯管（14），且壳体（1）内腔的底部固定连接有加热丝（3），所述壳体（1）内腔的左下端固定连接有支撑板（6），且支撑板（6）的顶端固定连接有套筒（7），所述套筒（7）内腔的底部通过弹簧（5）活动连接有刮杆（4），且刮杆（4）的顶端固定连接有橡胶板（16），所述壳体（1）内表面的中端活动安装有调节轮（15），壳体（1）左侧的下端固定连接有第一支撑架（20），且第一支撑架（20）内表面的左端活动安装有从动轮（21），所述壳体（1）右侧的下端固定连接有第二支撑架（12），且第二支撑架（12）内表面的右端活动安装有主动轮（11），所述主动轮（11）通过传送带（8）与从动轮（21）传动连接，传送带（8）的外表面固定连接有海绵层（23），且传送带（8）与壳体（1）的连接处分别开设有进料口（2）和出料口（13），所述壳体（1）顶部的右端固定安装有电机（22），且电机（22）的输出轴通过皮带与主动轮（11）传动连接，所述壳体（1）顶部的左端固定安装有循环风机（17），且循环风机（17）的进风端通过进风管（18）与壳体（1）顶部的左端连通，循环风机（17）的出风端通过出风管（10）与壳体（1）右侧的底部连通。