[发明专利]电容式微电子机械加速度计

摘要

本公开内容描述了一种电容式微电子机械加速度计。该加速度计具有至少第一传感器，第一传感器包括作为双侧式跷跷板框架的转子。转子包括在其旋转轴的第一侧的一个或更多个第一阻尼板以及在其旋转轴的第二侧的一个或更多个第二阻尼板。一个或更多个第二阻尼板在该一个或更多个第一阻尼板中的至少一些的上方或下方被固定至内封装平面，使得至少一个第一阻尼板与第二阻尼板的投影在旋转轴的每一侧交叠。框架形转子可以围绕位于衬底平面中的第二加速度传感器和第三加速度传感器。

主权项

1.一种电容式微机械加速度计，包括：衬底，所述衬底限定了在横向方向和纵向方向上延伸的衬底平面，所述横向方向垂直于所述纵向方向；第一传感器，所述第一传感器用于测量沿着垂直于所述衬底平面的竖直轴的加速度；以及加速度计封装，所述加速度计封装具有在所述衬底平面的上方和/或下方的、与所述衬底平面相邻且平行的内封装平面，其中，所述第一传感器包括相对于所述衬底可移动的转子、转子悬吊件以及相对于所述衬底不可移动的一个或更多个定子，所述转子包括一个或更多个转子电极，并且所述一个或更多个定子包括一个或更多个定子电极，所述电极被配置用于差分电容式测量，所述悬吊件包括一个或更多个被锚定的转子悬吊杆以及在横向转子旋转轴上对齐的第一横向扭转弹簧和第二横向扭转弹簧，其中，所述第一横向扭转弹簧和所述第二横向扭转弹簧附接至所述转子，其特征在于，所述转子是包括至少横向转子杆、附接至所述横向转子杆的第一纵向转子杆以及附接至所述横向转子杆的第二纵向转子杆的双侧式跷跷板框架，其中，每个纵向转子杆从所述横向转子旋转轴的第一侧延伸至所述横向转子旋转轴的第二侧，并且每个纵向转子杆包括在所述横向转子旋转轴的所述第一侧的一个或更多个第一阻尼板以及在所述横向转子旋转轴的所述第二侧的一个或更多个第二阻尼板，并且一个或更多个第二阻尼板在所述一个或更多个第一阻尼板中的至少一些的上方和/或下方被固定至所述内封装平面，使得至少一个第一阻尼板与第二阻尼板至所述衬底平面的投影在所述横向转子旋转轴的所述第一侧的第一交叠区域中交叠，并且至少一个第一阻尼板与第二阻尼板至所述衬底平面的投影在所述横向转子旋转轴的所述第二侧的第二交叠区域中交叠。