[发明专利]搬送系统、曝光装置、器件制造方法、搬送方法、曝光方法有效
| 申请号： | 201810418024.7 | 申请日： | 2013-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN108732871B | 公开（公告）日： | 2021-03-30 |
| 发明（设计）人： | 原英明 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/67;H01L21/68;H01L21/683;H01L21/687;B25J11/00;B25J15/06 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 陈伟;刘伟志 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 搬送系统具有：晶片载台(WST)，其保持所载置的晶片(W)，并且能够沿着XY平面移动；吸盘单元(153)，其在规定位置的上方，从上方以非接触的方式保持晶片，且能够上下移动；和多个上下移动销(140)，其在晶片载台(WST)位于上述规定位置时，在晶片载台(WST)上能够从下方支承由吸盘单元(153)保持的晶片，且能够上下移动。并且，通过Z位置检测系统(146)来测定晶片(W)的平坦度，并基于该测定结果来独立地驱动将晶片(W)保持(支承)的吸盘单元(153)和上下移动销(140)。 | ||
| 搜索关键词： | 系统 曝光 装置 器件 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种搬送系统，将板状的物体搬送到设有物体载置部的物体载置部件，其特征在于，具有调整装置，所述调整装置在将所述板状的物体载置到所述物体载置部之前，将所述板状的物体的形状变为规定形状，将成为所述规定形状的所述板状的物体载置到所述物体载置部。
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