[发明专利]基于固支梁压阻效应的微波功率传感器有效
| 申请号： | 201810420335.7 | 申请日： | 2018-05-04 |
| 公开（公告）号： | CN108594007B | 公开（公告）日： | 2023-05-23 |
| 发明（设计）人： | 张焕卿;宁楠楠;陆颢瓒;王德波 | 申请（专利权）人： | 南京邮电大学 |
| 主分类号： | G01R21/10 | 分类号： | G01R21/10 |
| 代理公司： | 南京正联知识产权代理有限公司 32243 | 代理人： | 王素琴 |
| 地址： | 210023 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明是一种基于固支梁压阻效应的微波功率传感器，包括高阻硅衬底，在高阻硅衬底上设置有共面波导传输线、固支梁，共面波导传输线包括CPW信号线和CPW地线，在CPW地线与CPW信号线之间还分别设置有固支梁桥墩，固支梁的两端分别通过固支梁桥墩固定在CPW信号线的上方，固支梁的两端通过固支梁桥墩与高阻硅衬底相连，在CPW信号线的正上方、固支梁的上表面设置有金属质量块，固支梁的上下表面均设置有扩散电阻，微波功率传感器工作时固支梁形变导致固支梁表面应力变化，扩散电阻的值产生变化，通过惠更斯电桥法测量节点之间电压变化即可直接测量微波功率值。本发明的微波功率传感器结构新颖、易于集成，且测量范围较宽、测量精度较高。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 固支梁压阻 效应 微波 功率 传感器 | ||
【主权项】：
1.一种基于固支梁压阻效应的微波功率传感器，所述传感器包括高阻硅衬底（1），在所述高阻硅衬底（1）上设置有共面波导传输线、固支梁（5），其特征在于：所述共面波导传输线包括CPW信号线（3）和CPW地线（2），所述CPW信号线（3）的两侧分别有CPW地线（2），在所述CPW地线（2）与所述CPW信号线（3）之间还分别设置有固支梁桥墩（4），所述固支梁（5）的两端分别通过固支梁桥墩（4）固定在所述CPW信号线（3）的上方，所述固支梁（5）的两端通过固支梁桥墩（4）与所述高阻硅衬底（1）相连，在所述CPW信号线（3）的正上方、所述固支梁（5）的上表面设置有金属质量块（7），所述固支梁（5）的上下表面均设置有扩散电阻（6），所述微波功率传感器工作时固支梁（5）形变导致固支梁（5）表面应力变化，扩散电阻（6）的值产生变化，通过惠更斯电桥法测量节点之间电压变化即可直接测量微波功率值。
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