[发明专利]一种超细多晶硅粉末回收再利用方法在审

专利信息
申请号: 201810420480.5 申请日: 2018-05-04
公开(公告)号: CN108383122A 公开(公告)日: 2018-08-10
发明(设计)人: 赵嘉祥;赵雅婷;赵延武;任允清;康定军;贺祥洋 申请(专利权)人: 河南润祥新材料科技有限公司
主分类号: C01B33/02 分类号: C01B33/02;C01B33/037;C22C1/02;C22C1/06;C22C21/02
代理公司: 北京天盾知识产权代理有限公司 11421 代理人: 何军华
地址: 451200 河*** 国省代码: 河南;41
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摘要: 一种超细多晶硅粉末回收再利用方法,依次包括以下步骤:(1)收集多晶硅片在切割过程中产生的多晶硅粉末;(2)对多晶硅粉末进行烘干处理,除去多晶硅粉末中的水分;(3)使用造粒机对多晶硅粉末进行造粒,得到颗粒度为6‑10mm的多晶硅颗粒;(4)将多晶硅颗粒放入以高纯石墨坩埚做导电体的工频感应炉内,并通入高纯氩气做保护气体,对多晶硅颗粒加热至1400℃‑1500℃,保温至多晶硅颗粒完全熔化形成熔融液;(5)打开工频感应炉的炉盖,在熔融液内加入打渣剂进行除渣;(6)采用铸造模具对得到的熔融液进行铸造并制成块状体。本发明烧损率低、回收纯度高、不含氧化物杂质、回收效率高、回收成本低。
搜索关键词: 多晶硅 多晶硅颗粒 熔融液 工频感应炉 粉末回收 再利用 超细 回收 高纯石墨坩埚 熔化 保护气体 多晶硅片 高纯氩气 含氧化物 烘干处理 切割过程 铸造模具 打渣剂 导电体 颗粒度 块状体 造粒机 除渣 放入 炉盖 烧损 造粒 加热 保温 铸造
【主权项】:
1.一种超细多晶硅粉末回收再利用方法,其特征在于,依次包括以下步骤:收集多晶硅片在切割过程中产生的多晶硅粉末;对多晶硅粉末进行烘干处理,除去多晶硅粉末中的水分;使用造粒机对多晶硅粉末进行造粒,得到颗粒度为6‑10mm的多晶硅颗粒;将多晶硅颗粒放入以高纯石墨坩埚做导电体的工频感应炉内,并通入高纯氩气做保护气体,对多晶硅颗粒加热至1400℃‑1500℃,保温至多晶硅颗粒完全熔化形成熔融液;打开工频感应炉的炉盖,在熔融液内加入打渣剂进行除渣;采用铸造模具对得到的熔融液进行铸造并制成块状体。
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