[发明专利]一种硅基核壳结构光伏电池及其制备方法有效
申请号: | 201810421111.8 | 申请日: | 2018-05-04 |
公开(公告)号: | CN108417719B | 公开(公告)日: | 2021-08-24 |
发明(设计)人: | 张军 | 申请(专利权)人: | 苏州宝澜环保科技有限公司 |
主分类号: | H01L51/42 | 分类号: | H01L51/42;H01L51/48 |
代理公司: | 苏州谨和知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32295 | 代理人: | 仲崇明 |
地址: | 215000 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明涉及一种硅基核壳结构光伏电池及其制备方法,该方法包括以下步骤:在单晶硅片的上表面制备硅纳米线阵列、第一界面修饰层的制备、第二界面修饰层的制备、第一PEDOT:PSS层的制备、第二PEDOT:PSS层的制备、在所述第二PEDOT:PSS层的整个表面热蒸镀金属银、正面栅电极的制备以及背面电极的制备。通过改善硅基核壳结构光伏电池的结构以及制备工艺,有效提高了本发明的硅基核壳结构光伏电池的光电转换效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 硅基核壳 结构 电池 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
1.一种硅基核壳结构光伏电池的制备方法,其特征在于:包括以下步骤:(1)在单晶硅片的上表面制备硅纳米线阵列,然后在HF溶液中浸泡以去除所述硅纳米线阵列中单个硅纳米线的表面的自然氧化硅;(2)第一界面修饰层的制备:在步骤(1)得到的单晶硅片的上表面旋涂含有异丁醇铪和P3HT的第一混合溶液,其中所述第一混合溶液中异丁醇铪的浓度为0.3‑0.5mg/ml,P3HT的浓度为1‑1.5mg/ml,旋涂的转速为5500‑6000转/分钟,然后进行第一次退火处理,形成所述第一界面修饰层;(3)第二界面修饰层的制备:在步骤(2)得到的单晶硅片的上表面旋涂含有异丁醇铪和P3HT的第二混合溶液,其中所述第二混合溶液中异丁醇铪的浓度为0.1‑0.2mg/ml,P3HT的浓度为1.5‑2mg/ml,旋涂的转速为5000‑5500转/分钟,然后进行第二次退火处理,形成所述第二界面修饰层;(4)第一PEDOT:PSS层的制备:在步骤(3)得到的单晶硅片的上表面旋涂PEDOT:PSS溶液,旋涂的转速为4000‑5000转/分钟,然后进行第三次退火处理,形成所述第一PEDOT:PSS层;(5)第二PEDOT:PSS层的制备:在步骤(4)得到的单晶硅片的上表面旋涂含有银纳米颗粒和黑磷烯的PEDOT:PSS溶液,旋涂的转速为3000‑4000转/分钟,然后进行第四次退火处理,形成所述第二PEDOT:PSS层;(6)在所述第二PEDOT:PSS层的整个表面热蒸镀金属银,其中,热蒸镀金属银的速率均为0.5‑2埃米/秒,每次蒸镀金属银的时间均为3‑6秒;(7)正面栅电极的制备;(8)背面电极的制备。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择
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