[发明专利]非零位点衍射干涉系统中的梯度补偿装置在审
| 申请号： | 201810425132.7 | 申请日： | 2018-05-07 |
| 公开（公告）号： | CN109029282A | 公开（公告）日： | 2018-12-18 |
| 发明（设计）人： | 沈华;李轩;孙越;朱日宏;李嘉;高金铭;赵正洋 | 申请（专利权）人： | 南京理工大学 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24;G01B9/02 |
| 代理公司： | 南京理工大学专利中心 32203 | 代理人： | 朱沉雁 |
| 地址： | 210094 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种非零位点衍射干涉系统中的梯度补偿装置，包括光纤激光器、光纤阵列、1/4波片和成像系统，光纤阵列端面镀有半透半反膜，光纤激光器与光纤阵列连接，1/4波片紧贴半透半反膜设置，待测件和成像系统均位于1/4波片的出射光路上；光纤阵列中每根光纤均由光开关实现光路通断。本发明中光纤的通断可以单独控制，无需掩膜板，可以根据各种面形表面梯度，通过控制每根光纤的通断灵活生成动态分布的空间点衍射源，测量通用性强；利用光纤阵列端面作为点衍射器件，产生近似理想的标准球面波作为参考波前，从而避免在干涉系统中加入标准镜，这就避免了因标准镜的加工误差引入的波像差，同时突破了标准镜口径对测量口径的限制。 | ||
| 搜索关键词： | 光纤阵列 标准镜 波片 通断 点衍射干涉系统 光纤阵列端面 半透半反膜 光纤激光器 光纤 成像系统 梯度补偿 非零位 口径 测量 标准球面波 表面梯度 单独控制 动态分布 干涉系统 加工误差 近似理想 通用性强 衍射器件 波像差 出射光 待测件 光开关 空间点 掩膜板 光路 面形 衍射 紧贴 参考 引入 灵活 | ||
【主权项】：
1.一种非零位点衍射干涉系统中的梯度补偿装置，其特征在于：包括光纤激光器（1）、光纤阵列（2）、1/4波片（4）和成像系统（6），共光轴设置光纤激光器（1）、光纤阵列（2）、1/4波片（4），其中光纤阵列（2）端面镀有半透半反膜（3），光纤激光器（1）与光纤阵列（2）连接，1/4波片（4）紧贴半透半反膜（3）设置，待测件（5）和成像系统（6）均位于1/4波片（4）的出射光路上；光纤阵列（2）中每根光纤均由光开关实现光路通断；光纤激光器（1）产生线偏振的激光，该线偏振的激光到达光纤阵列（2），在光纤阵列（2）的端面出射多个标准球面波，标准球面波经过无偏振的半透半反膜（3）入射至1/4波片（4）形成左旋圆偏光的空间点衍射阵，上述空间点衍射阵中的每一个点衍射源均分为两部分，其中一部分形成参考光，直接进入成像系统（6），另一部分形成测试光入射至待测件（5），测试光携带了待测件（5）的面型信息，经待测件（5）反射回1/4波片（4），再经半透半反膜（3）反射，最后通过1/4波片（4）变为右旋圆偏光进入成像系统（6），测试光和参考光在成像系统（6）中形成干涉图。
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