[发明专利]一种透明材料表面及内部缺陷的检测方法和检测系统

摘要

本发明公开了一种透明材料表面及内部缺陷的检测方法和检测系统，检测系统包括：光学测量系统、光学分析系统和彩色共焦数据处理程序。光学测量系统用于光的输出并接收被测透明材料表面及内部缺陷的反射光，将其输出到光学分析系统；光学分析系统，用于接收透明材料表面及内部缺陷的反射光；彩色共焦数据处理程序，用于对光学分析系统获取的反射光进行分析以获取反射峰对应的波长值，再对此波长值进行处理以获取被测透明材料的表面及内部缺陷信息。本发明还提供了基于上述检测系统的透明材料表面及内部缺陷的检测方法。本发明的透明材料表面及内部缺陷的检测方法和检测系统，能够快速、无损、准确的对透明材料表面及内部缺陷进行定性定量地测量。

主权项

1.一种透明材料表面及内部缺陷的检测系统，其特征在于，包括光学测量系统、光学分析系统和彩色共焦数据处理程序，其中：光学测量系统包括复色光源、光源针孔、准直透镜、色散管镜、分光镜、物镜、可实现三维移动的载物台、会聚透镜、检测针孔和输出光纤，所述复色光源发出的光依次经所述光源针孔、所述准直透镜、所述色散管镜、所述分光镜和所述物镜传输到放置于所述载物台上的被测透明材料，所述被测透明材料的反射光依次经过所述物镜、所述分光镜、所述会聚透镜、所述检测针孔和所述输出光纤输出；所述光学分析系统包括光谱仪，所述输出光纤的输出端连接所述光谱仪；所述光学分析系统用于接收被测透明材料的表面及内部的缺陷的反射光；所述彩色共焦数据处理程序用于对所述光学分析系统获取的反射光进行分析以获取反射峰对应的波长值，再对反射峰对应的波长值进行处理以获取被测透明材料的表面及内部缺陷信息。