[发明专利]有机蒸气喷射印刷设备

摘要

本申请涉及一种有机蒸气喷射印刷OVJP设备和一种经由OVJP工艺沉积的方法。公开装置和技术，其包括使用电容式传感器以准许OVJP印刷头使其本身相对于印刷衬底上的导电或介电质轨线取向。所述传感器使得能够对印刷头相对于衬底轨线的位置进行实时测量和闭环控制。这使得能够例如在横切于印刷的维度中得到微米尺度分辨率，同时准许衬底和OVJP工具的移动按比例增大到比使用常规技术和系统可实现更大的大小。

主权项

1.一种有机蒸气喷射印刷OVJP设备，其包含：OVJP印刷头；第一电容式传感器，所述第一电容式传感器以物理方式与所述OVJP印刷头连接；平台位置调节器，所述平台位置调节器被配置成调节所述OVJP印刷头和安置于所述OVJP印刷头下方的衬底的相对位置；以及处理电路，所述处理电路与所述第一电容式传感器和所述平台位置调节器信号通信并且被配置成基于由所述第一电容式传感器提供的信号而向所述平台位置调节器提供控制信号。