[发明专利]新型制备不粘锅涂层的方法

摘要

新型制备不粘锅涂层的方法，本发明涉及材料表面处理技术领域，具体涉及新型制备不粘锅涂层的方法。本发明是要解决现有市售的Teflon不粘锅涂层抗划擦性能差，寿命低的问题。方法：本发明利用金属网与金属锅体形成空心阴极封闭体，利用“空心阴极效应”产生的高等离子体密度以及DLN膜层结构。本发明用于制备不粘锅涂层。

主权项

1.新型制备不粘锅涂层的方法，其特征在于新型制备不粘锅涂层的方法是按以下步骤进行：一、空心阴极结构制备：将金属网(3)与金属锅(2)连接形成封闭腔体，然后放置在真空室(1)内的绝缘柱上，将金属网(3)与高频高压脉冲电源(7)的高压脉冲输出端相连；二、溅射清洗：将真空室(1)抽真空，待真空室(1)内的真空度小于10‑3Pa时，通入氮气或混合气体至真空室(1)内的真空度为1～3Pa，开启高频高压脉冲电源(7)，调整高频高压脉冲电源输出，在金属网(3)与金属锅(2)体形成的封闭体内产生空心阴极放电，高能Ar+和H+溅射清洗锅体内表面，对清洁后的金属网(3)与金属锅(2)进行溅射清洗；所述混合气体为氩气与氢气的混合气体；三、Si过渡层制备：①：向真空室(1)内通入含Si元素气体1～5s，开启高频高压脉冲电源(7)，调节高频高压电源输出脉冲电压值为1～6kV；②：采用高能氩离子轰击8～10min；③：连续重复第①步和第②步5～10次，形成Si元素与基体金属混杂层；四、DLN膜制备：向真空室(1)内通入碳前驱体和含有硅元素及氧元素的气体进行DLN不粘涂层的制备。