[发明专利]热式气体流量计及其应用在审
| 申请号： | 201810428315.4 | 申请日： | 2018-05-07 |
| 公开（公告）号： | CN110455361A | 公开（公告）日： | 2019-11-15 |
| 发明（设计）人： | 修德欣;张健中;王振中;许光 | 申请（专利权）人： | 中国石油化工股份有限公司;中国石油化工股份有限公司青岛安全工程研究院 |
| 主分类号： | G01F1/68 | 分类号： | G01F1/68 |
| 代理公司： | 31251 上海硕力知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 张惠明<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 266071山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种热式气体流量计及其应用，主要解决现有技术中测量精度较差、受安装工况影响大的问题。本发明通过采用一种热式气体流量计，包括航空插头、电路外壳、PCB电路、气体流道外壳、MEMS硬件系统、气体流道，MEMS硬件系统包括MEMS传感芯片、信号处理模块、A/D转换模块、微处理器MCU、信号输出模块，MEMS芯片嵌于气体流道内壁，并与PCB电路连接，PCB电路置于电路外壳内，并与航空插头连接，气体流道为文丘里结构的技术方案较好地解决了上述问题，可用于低泄漏密封性能检验中。 | ||
| 搜索关键词： | 气体流道 热式气体流量计 电路外壳 航空插头 硬件系统 信号处理模块 信号输出模块 微处理器MCU 文丘里结构 传感芯片 密封性能 低泄漏 可用 内壁 测量 检验 应用 | ||
【主权项】：
1.一种热式气体流量计，包括航空插头、电路外壳、PCB电路、气体流道外壳、MEMS硬件系统、气体流道，MEMS硬件系统包括MEMS传感芯片、信号处理模块、A/D转换模块、微处理器MCU、信号输出模块，MEMS芯片嵌于气体流道内壁，并与PCB电路连接，PCB电路置于电路外壳内，并与航空插头连接，气体流道为文丘里结构。/n
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