[发明专利]一种改善LED芯片切割污染的方法在审
申请号: | 201810428781.2 | 申请日: | 2018-05-08 |
公开(公告)号: | CN110459506A | 公开(公告)日: | 2019-11-15 |
发明(设计)人: | 刘晓;郑军;赵霞焱;徐现刚 | 申请(专利权)人: | 山东浪潮华光光电子股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/78 | 分类号: | H01L21/78;H01L33/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 261061山*** | 国省代码: | 山东;37 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 一种改善LED芯片切割污染的方法,包括如下步骤:a)半切操作;b)将光电参数的测试;c)通过贴膜机贴附在蓝膜上;d)进行烘烤;e)进行全切操作;f)纯水浸过所有管芯;g)进行高压清洗;h)进行扩膜。通过在全切后放进装有纯水的容器里浸泡,同时由于容器中纯水是没过管芯的,因此完全避免芯片暴露在空气中,通过隔绝与空气的接触,防止空气、水与电极金属的反应,解决造成的管芯红边污染。浸泡一段时间的管芯可以使残留的切割水充分溶解在纯水中,再通过高压清洗,清洗机充分利用水气二流体的作用,使喷雾高速冲击清洗面,冲击时产生的冲击波和膨胀波可在低破坏下发挥高清洗效果,使LED管芯的表面呈现较明亮的界面,不会产生红边等现象。 | ||
搜索关键词: | 管芯 高压清洗 红边 浸泡 切割 表面呈现 电极金属 高速冲击 光电参数 清洗效果 芯片暴露 冲击波 膨胀波 清洗机 清洗面 贴膜机 烘烤 水气 半切 蓝膜 流体 喷雾 水中 贴附 污染 溶解 残留 明亮 测试 | ||
【主权项】:
1.一种改善LED芯片切割污染的方法,其特征在于,包括如下步骤:/na)半切操作,使LED芯片正面电极切割形成纵横交错的若干切割槽;/nb)将半切后的LED芯片通过光电参数测试台进行光电参数的测试;/nc)将LED芯片正面电极朝上放置,使其背面电极向下通过贴膜机贴附在蓝膜上;/nd)将贴蓝膜后的LED芯片放置在加热平板上进行烘烤;/ne)将烘烤后的芯片放置在锯片机工作盘上进行全切操作,使LED芯片按切割槽为基准在蓝膜上切割形成若干个独立的管芯;/nf)将切割后的管芯放置在装满纯水的容器内,容器内的纯水浸过所有管芯;/ng)将浸泡在纯水中的管芯取出后放置在清洗机内进行高压清洗;/nh)将高压清洗后的管芯通过扩膜机进行扩膜,使各个管芯之间的间距增大。/n
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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