[发明专利]一种薄膜磁性测量装置

摘要

本发明涉及物理测量技术领域，一种薄膜磁性测量装置，包括激光器、延时器、1/4波片、凹透镜、凸透镜I、平面镜、偏振片、分束器、凸透镜II、透镜台、原子力显微镜、探针、透镜座、物镜、样品、波导、样品台、信号发生器、示波器、探测器、天线、锁相放大器、计算机、相敏检测器，所述激光器、延时器、1/4波片、凹透镜、凸透镜I、平面镜、偏振片、分束器、凸透镜II、透镜台、原子力显微镜、探针组成入射光路，采用高精度的定位装置来将激光束引导至样品表面的微型天线位置，获得样品表面纳米结构的磁光克尔信号，能够在天线位置处的金属样品表面附近产生更加局域化的增强的光近场，提高信号强度，增强了样品表面磁光克尔信号，提高了装置的灵敏度。

主权项

1.一种薄膜磁性测量装置，主要包括激光器、延时器、1/4波片、凹透镜、凸透镜I、平面镜、偏振片、分束器、凸透镜II、透镜台、原子力显微镜、探针、透镜座、物镜、样品、波导、样品台、信号发生器、示波器、光桥探测器、天线、锁相放大器、计算机、入射光路及反射光路，所述探针为原子力显微镜探针且位于原子力显微镜下端，所述探针为圆台形状，所述圆台的上底面直径为1.9微米、下底面直径为0.9微米，所述圆台轴线垂直于水平面，所述探针中具有通孔，所述物镜位于透镜座下端，所述激光器电缆连接计算机，所述激光器发射的激光束依次经延时器、1/4波片、凹透镜、凸透镜I、平面镜、偏振片、分束器、凸透镜II、透镜台、原子力显微镜、探针，从而形成入射光路，所述激光束照射到样品表面产生的反射光依次经探针、原子力显微镜、透镜台、凸透镜II、分束器，从而形成反射光路，所述反射光被分束器偏转后进入所述光桥探测器，所述透镜台为直径十厘米的透光圆盘且具有中心轴，所述原子力显微镜、透镜座分别位于透镜台下面、且均能够相对于透镜台的位置微调，当透镜台绕其中心轴转动时，能够分别将原子力显微镜或透镜座置于样品正上方，波导位于样品台上，通过磁控溅射方法将样品直接接触地制备于波导上表面，波导长为80微米、宽为50微米、厚度为150纳米、特征阻抗为50欧姆，样品长为10微米、宽为9微米、厚度为50纳米，其特征是：所述光桥探测器输出端与锁相放大器相连，所述锁相放大器的参考频率设置为与所述信号发生器的输出频率一致，所述锁相放大器与计算机电缆连接，所述示波器、波导、信号发生器、计算机依次电缆连接，所述探针中的通孔的上半部为圆柱形通孔、下半部为圆台形通孔，所述通孔内表面镀有钽金属薄膜。