[发明专利]位置测定方法以及部件有效
| 申请号： | 201810430660.1 | 申请日： | 2018-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN108896276B | 公开（公告）日： | 2022-02-25 |
| 发明（设计）人： | 藤冈孝弘;堀切宏则;池田贤元 | 申请（专利权）人： | 纳卢克斯株式会社 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02;G01B11/26 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 李辉;黄纶伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供位置测定方法以及部件，该位置测定方法是在测定装置的图像中，通过使用部件的位置基准部的位置，以较高的精度求出透镜等的位置，该部件适用于上述位置测定方法。在具有使用同轴落射照明的摄像光学系统的测定装置的图像中，对平面(101)上的位置基准部的位置和任意的点的位置进行观察，并对该任意的点的位置进行确定。在该位置基准部中，至少根部的部分是柱状，并且该位置基准部具有包围柱的根部的倾斜面(103)。该位置测定方法包括如下步骤：在该测定装置的图像中，根据包围该根部的倾斜面与该平面的边界的位置，确定该根部的外周的位置；根据该根部的外周的位置确定该位置基准部的位置；以及以该位置基准部的位置为基准确定该任意的点的位置。 | ||
| 搜索关键词： | 位置 测定 方法 以及 部件 | ||
【主权项】：
1.一种位置测定方法，该位置测定方法是在具有使用同轴落射照明的摄像光学系统的测定装置的图像中，对平面上的位置基准部的位置和任意的点的位置进行观察，并对该任意的点的位置进行确定的位置测定方法，其中，所述位置测定方法的特征在于，在该位置基准部中，至少根部的部分是柱状，并且该位置基准部具有包围柱的根部的倾斜面，该位置测定方法包括如下步骤：在该测定装置的图像中，根据包围该根部的倾斜面与该平面的边界的位置，确定该根部的外周的位置；根据该根部的外周的位置确定该位置基准部的位置；以及以该位置基准部的位置为基准，确定该任意的点的位置。
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