[发明专利]一种用于特种爆破压力测量的爆破压力传感器

摘要

本发明公开了一种用于特种爆破压力测量的爆破压力传感器，包括电连接器、防护壳、压力盖板、压力腔、转接头、压环和密封堵头。在防护壳的内部依次设有压力敏感芯体、信号转接板、支柱和信号调理板，并通过电连接器实现信号调理板与外部供电系统和数据采集系统连接。压力敏感芯体的表面设有四个具有压敏效应的薄膜电阻，四个薄膜电阻组成惠斯通电桥，并将惠斯通电桥的引出点焊接至信号转接板上，当压力敏感芯体内腔受到压力作用时，薄膜电阻阻值发生变化，并在惠斯通电桥的输出端产生相应的电信号变化，并通过后续电路处理，实现爆破压力测量。本发明测量精度高、灵敏度高、温度特性优异，同时具有良好的频响特性。

主权项

1.一种用于特种爆破压力测量的爆破压力传感器，主要包括电连接器(1)、防护壳(2)、压力盖板(4)、压力腔(16)、转接头(5)、压环(6)以及密封堵头(10)，其特征在于：在防护壳(2)的内部压力盖板(4)上依次设有压力敏感芯体(15)、信号转接板(12)、支柱(11)和信号调理板(3)，并通过电连接器(1)实现信号调理板(3)与外部供电系统和数据采集系统连接；压力敏感芯体(15)的表面采用离子束溅射法制作四个具有压敏效应的薄膜电阻(21、22、23、24)，按照惠斯通电桥的组桥方式将四个薄膜电阻(21、22、23、24)进行组桥，并通过细金丝将惠斯通电桥的引出点焊接至信号转接板(12)上，当压力敏感芯体(15)内腔受到压力作用时，薄膜电阻(21、22、23、24)阻值发生变化，并在惠斯通电桥的输出端产生相应的电信号变化，整个过程即压力变化——薄膜电阻(21、22、23、24)阻值变化——电信号输出，并通过后续电路处理，实现压力信号测量；信号转接板(12)上设有零点调节电阻(19)、灵敏度调节电阻(18)以及温度补偿电阻(20)，用于实现压力敏感芯体(15)输出零点、灵敏度的调节及温度特性的补偿；信号调理板(3)上设有滤波和信号放大功能模块，分别实现对信号噪声的滤除和信号放大；压力腔(16)侧面和底部分别设有通孔，用于安装转接头(5)和密封堵头(10)。