[发明专利]一种分析系统内残余空气的置换装置

摘要

本发明涉及了一种分析系统内残余空气的置换装置，用于瓶装高纯气微量水测定前分析系统内残余空气的置换，该置换装置包括带有第一支管和第二支管的主管道，在所述主管道上第一支管和第二支管之间设置有高压球阀，所述主管道的一端与高纯气瓶密封连接，另一端与气体管道密封连接，所述气体管道与工业高纯氮气管道密封连接，所述第一支管与减压器密封连接，所述减压器出口密封连接微量水分析器；所述第二支管与低压针阀密封连接，所述微量水分析器的放空接头和所述低压针阀的出口均密封连接至室外的放空管道。该气体置换装置结构简单，操作方便，气路死体积接近为0，无爆炸等安全隐患。

主权项

1.一种分析系统内残余空气的置换装置，用于瓶装高纯气微量水测定前分析系统内残余空气的置换，其特征在于，/n该置换装置包括带有第一支管和第二支管的主管道，在所述主管道上第一支管和第二支管之间设置有高压球阀，所述主管道的一端与高纯气瓶密封连接，另一端与气体管道密封连接，所述气体管道与工业高纯氮气管道密封连接，所述第一支管与减压器密封连接，所述减压器出口密封连接微量水分析器；所述第二支管与低压针阀密封连接，所述微量水分析器的放空接头和所述低压针阀的出口均密封连接至室外的放空管道；/n该分析系统残余空气的置换装置工作时：/n首先，打开高压球阀并关闭低压针阀；将气体管道插入气体置换装置的主管道，并使其通过高压球阀的圆形通孔或通道，插至高纯气瓶的瓶嘴最深处；将气体管道与经稳压、稳流的工业高纯氮气管道密封连接，然后加压使系统压力升至0.5MPa以上，工业高纯氮气经减压器减压后，通入微量水分析器以置换分析系统的残余空气；/n然后，缓缓开启低压针阀，通过放空管道排放工业高纯氮气，置换完毕后，关闭低压针阀；将气体管道抽出高压球阀，至主管道的空腔内；关闭减压器、关闭高压球阀，开启高纯气瓶的顶部阀门，调节减压器输出高纯气，调节微量水分析器的气路控制部件控制输入其中的气体的流量；置换调节微量水分析器的分析流路直至微量水分析值稳定后，获取分析数据。/n