[发明专利]用于制造辐射热探测器的方法有效
| 申请号： | 201810433331.2 | 申请日： | 2018-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN109000807B | 公开（公告）日： | 2022-08-05 |
| 发明（设计）人： | 帕特里克·勒迪克;塞巴斯蒂安·科蒂亚尔;史蒂芬·蒲卡思;让-雅克·约恩 | 申请（专利权）人： | 原子能和替代能源委员会 |
| 主分类号： | G01J5/12 | 分类号： | G01J5/12 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人： | 徐川;姚开丽 |
| 地址： | 法国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种用于制造辐射热探测器(100)的方法，包括以下步骤：在读出电路的互连层级(20)上制造堆叠，该堆叠包括位于载体层(32)和蚀刻停止层(29)之间的牺牲层(30)，该牺牲层包括矿物材料；制造导电通路(38)，所述导电通路穿过所述堆叠以使该导电通路与所述互连层级的导电部分(21)相接触；将导电层沉积在所述载体层和所述导电通路上；蚀刻所述导电层和所述载体层，形成测辐射热计膜(54)，所述测辐射热计膜(54)通过所述导电层的剩余部分(44)电连接到所述导电通路，所述剩余部分(44)覆盖所述导电通路的上部(40)；通过选择性的化学蚀刻去除所述牺牲层，以使得所述膜通过所述通路悬置。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 制造 辐射热 探测器 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于制造辐射热探测器(100)的方法，包括至少实施以下步骤：在所述探测器(100)的电子读出电路(12)的电气互连层级(20)上制造层(29，30，32，34)的堆叠，所述堆叠包括位于载体层(32)和第一蚀刻停止层(29)之间的至少一个牺牲层(30)，所述第一蚀刻停止层(29)被定位在所述牺牲层(30)和所述电气互连层级(20)之间，并且所述牺牲层(30)包括至少一种矿物材料，该至少一种矿物材料能够相对于所述载体层(32)和所述第一蚀刻停止层(29)被选择性地蚀刻；制造至少一个导电通路(38)，所述至少一个导电通路(38)至少穿过层(29，30，32，34)的所述堆叠，以使所述导电通路(38)的至少一种导电材料与所述电气互连层级(20)的至少一个导电部分相接触，所述电气互连层级(20)连接到所述电子读出电路(12)；将至少一个导电层(42)沉积在所述载体层(32)和所述导电通路(38)上；蚀刻所述导电层(42)和所述载体层(32)，形成测辐射热计膜(54)，所述测辐射热计膜(54)通过所述导电层(42)的至少一个剩余部分(44)电连接到所述通路(38)，所述至少一个剩余部分(44)覆盖所述通路(38)的至少一个上部(40)；以及通过化学蚀刻去除所述牺牲层(30)，以使得所述膜(54)通过所述导电通路(38)悬置，所述第一蚀刻停止层(29)和所述载体层(32)对该化学蚀刻具有抵抗性。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于原子能和替代能源委员会，未经原子能和替代能源委员会许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201810433331.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种紫外线传感器安装壳
- 下一篇：一种激光频率测量装置和激光频率稳定装置
