[发明专利]高灵敏宽频带压电式MEMS矢量水听器有效
| 申请号： | 201810434347.5 | 申请日： | 2018-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN108731790B | 公开（公告）日： | 2020-07-10 |
| 发明（设计）人： | 刘林仙 | 申请（专利权）人： | 山西大学 |
| 主分类号： | G01H11/08 | 分类号： | G01H11/08 |
| 代理公司： | 太原市科瑞达专利代理有限公司 14101 | 代理人： | 卢茂春 |
| 地址： | 030006 山*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 一种高灵敏宽频带压电式MEMS矢量水听器，涉及MEMS传感器领域，它由用于接收声波的立柱、支撑立柱的底座、敏感转换垫、支撑架组成，立柱与底座固定连接，底座放置在敏感转换垫上面；敏感转换垫设置在支撑架上面；所述底座由两个横梁和四个支腿组成，两个横梁十字交叉，每个横梁的下面均设两个支腿，支腿下面设置一个圆形敏感转换垫；所述敏感转换垫由上金属电极层、下金属电极层和中间压电材料薄膜层组成；中间压电材料薄膜层夹在上金属电极层、下金属电极层之间；所述支撑架由支柱和硅衬底薄膜组成，支柱上面设置硅衬底薄膜。本发明解决了现有二维矢量水听器灵敏度受限、频带窄、功耗大等问题。 | ||
| 搜索关键词： | 灵敏 宽频 压电 mems 矢量 水听器 | ||
【主权项】：
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