[发明专利]一种防腐蚀热电偶有效
| 申请号： | 201810434420.9 | 申请日： | 2018-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN108981941B | 公开（公告）日： | 2020-07-28 |
| 发明（设计）人： | 吕崇新 | 申请（专利权）人： | 唐山市开平区天诺热电偶厂 |
| 主分类号： | G01K7/02 | 分类号： | G01K7/02;G01K1/10 |
| 代理公司： | 广州海藻专利代理事务所(普通合伙) 44386 | 代理人： | 张大保 |
| 地址： | 063021 河北省唐山市开平区越河镇高新技*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种防腐蚀钨铼热电偶，防腐蚀钨铼热电偶是由如下方法制备的：提供钨铼热电偶合金基体；在钨铼热电偶合金基体表面利用第一磁控溅射方法沉积金属Al层；在金属Al层表面利用第二磁控溅射方法沉积氧化铝层；在氧化铝层表面利用第三磁控溅射方法沉积金属Zr层；在金属Zr层表面利用第四磁控溅射方法沉积硼化锆层；在硼化锆层利用第五磁控溅射方法沉积TiAlSiN层。本发明由于沉积了TiAlSiN层，使得薄膜钨铼热电偶硬度大幅度提高；膜层结构丰富，增加了过渡金属层，使得膜层之间的结合力提高；溅射工艺先进，使得膜层之间的结合力提高，热电偶抗氧化的能力更高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 腐蚀 热电偶 | ||
【主权项】：
1.一种防腐蚀钨铼热电偶，其特征在于：所述防腐蚀钨铼热电偶是由如下方法制备的：提供钨铼热电偶合金基体；在所述钨铼热电偶合金基体表面利用第一磁控溅射方法沉积金属Al层；在所述金属Al层表面利用第二磁控溅射方法沉积氧化铝层；在所述氧化铝层表面利用第三磁控溅射方法沉积金属Zr层；在所述金属Zr层表面利用第四磁控溅射方法沉积硼化锆层；在所述硼化锆层利用第五磁控溅射方法沉积TiAlSiN层。
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