[发明专利]一种半解耦的联动式可变光阑

摘要

本发明公开一种半解耦联动式可变光阑。该装置包括4个主动气浮导轨和4个从动导轨并通过双层气浮模块和联动模块连接，从动导轨末端安装光阑板，4个光阑板首尾相接旋转对称式安装并形成共面的矩形窗口。该装置可通过驱动模块分别对4个光阑板进行逆时针异位控制，实现平面内任意范围的扫描，提高了窗口扫描的精度和效率。本发明可用于建立一种高分辨率、高运动/定位精度的投影式曝光装置。

主权项

1.一种半解耦的联动式可变光阑，包括左端光阑机构(1001)、下端光阑机构(1002)、右端光阑机构(1003)、上端光阑机构(1004)和背板(1005)；其特征在于：所述左端光阑机构(1001)、下端光阑机构(1002)、右端光阑机构(1003)和上端光阑机构(1004)具有相同的构成部分，均包括联动模块(101)、从动导轨(102)、光阑板(103)、双层气浮模块(104)、基准主导轨(105)和驱动模块(106)，其中所述联动模块(101)包括T型支架(1)、三角型轨道架(2)、磁铁(3)、陶瓷轴承(4)、转接垫板(5)、滑动单元(6)和定位轴(7)；所述的左端光阑机构(1001)、下端光阑机构(1002)、右端光阑机构(1003)、上端光阑机构(1004)旋转对称，并以逆时针顺序安装在背板(1005)上；所述左端光阑机构(1001)、下端光阑机构(1002)、右端光阑机构(1003)和上端光阑机构(1004)的装配关系为：所述基准主导轨(105)和驱动模块(106)固连在背板(1005)上，双层气浮模块(104)与驱动模块(106)连接，基准主导轨(105)和从动导轨(102)安装在双层气浮模块(104)内部，从动导轨(102)的末端连接光阑板(103)，在光阑板(103)的逆时针方向处安装有联动模块(101)；所述T型支架(1)和光阑板(103)共同夹持三角型轨道架(2)，在三角型轨道架(2)上设有减重槽(8)、定位安装孔(9)、限位块(10)和滑轨(11)；磁铁(3)、陶瓷轴承(4)和定位轴(7)安装在滑动单元(6)上，其中的陶瓷轴承(4)和定位轴(7)共同夹持滑轨(11)，磁铁(3)平行安装于滑轨(11)；所述滑动单元(6)通过转接垫板(5)安装在逆时针方向处下端光阑机构(1002)的光阑板(103)上；所述左端光阑机构(1001)可以控制逆时针位置处下端光阑机构(1002)的光阑板(103)和从动导轨(102)沿Y向运动，下端光阑机构(1002)、右端光阑机构(1003)和上端光阑机构(1004)同左端光阑机构(1001)相同，均具有的逆时针异位控制功能。