[发明专利]基于双层气浮的悬臂式直线运动基准装置

摘要

本发明公开一种基于双层气浮的悬臂式直线运动基准装置；该装置通过双层的力封闭式气浮结构，实现了二维的气浮支承与导向，并提高了单位气浮工作面上的转动刚度，最终通过结合精密驱动与反馈控制，达到高速、高加速、高频运动的目的。本发明可建立一种体积小、悬臂长、转矩载荷大的二维运动基准装置。

主权项

1.基于双层气浮的悬臂式直线运动基准装置，包括双层气浮滑套部件(1)、垂向驱动电机(10)、垂向导轨(12)、从动导轨(15)、悬挂配重部件(16)；所述垂向导轨(12)和垂向驱动电机(10)安装在背板(2)上，双层气浮滑套部件(1)通过转接件(4)与电机线圈(3)固连，垂向导轨(10)和从动导轨(15)安装在双层气浮滑套部件(1)内，水平向的从动导轨(15)的悬臂端安装有悬挂配重部件(16)；其特征在于：所述双层气浮滑套部件(1)由U型底板(17)、中板(18)、U型盖板(19)组成，U型底板(17)与中板(18)配合安装，并通过底层气封螺钉(20)连接，垂向导轨(12)安装在U型底板(17)与中板(18)之间并形成力封闭式气浮结构，中板(18)与U型盖板(19)配合安装，并通过顶层气封螺钉(21)连接，从动导轨(15)安装在中板(18)与U型盖板(19)之间并形成力封闭式气浮结构；所述双层气浮滑套部件(1)上安装有光栅尺部件(5)，与光栅尺配合使用的位移读数头(6)通过俯仰调整座(7)与位置调整座(8)安装在垂向驱动电机(10)上；双层气浮滑套部件(1)上安装有水平向驱动装置(13)，并通过传动部件(14)与从动导轨(15)相连；所述垂向导轨(12)的下端通过固定基座(9)安装在背板(2)上，垂向导轨(12)的上端通过可调基座(11)安装在背板(2)上；所述水平向驱动装置(13)通过传动部件(14)驱动从动导轨(15)沿水平向运动；所述垂向驱动电机(10)驱动电机线圈(3)，带动双层气浮滑套部件(1)和光栅尺部件(5)沿垂向运动时，从动导轨(15)和悬挂配重部件(16)构成了悬臂式结构并随之运动。