[发明专利]一种非接触气压浮动式测量装置

摘要

本发明公开了一种非接触气压浮动式测量装置，涉及精密测量技术领域，由喷嘴组件、活塞组件、弹性组件和电磁感应组件构成。喷嘴组件由气压腔、进气孔和U型卡钳组成，测量时对不同被测表面形成不同的气压大小；活塞组件由活塞、单头螺杆和垫圈组成，气压腔前端气压发生变化，通过此部分反馈为位移变化；弹性组件是由三条弹性支链构成，弹性支链绕圆周等角度分布，通过此部位对前段反馈的位移变化量进行放大后传递到后端电磁感应组件；电磁感应组件由圆柱形铁芯、塑料轴承套、初级线圈和次级线圈构成，此部分组件对前段传递的位移变化量转化为电信号量输出。通过本发明可实现对轴类零部件圆度、圆柱度的高精度测量。

主权项

1.一种非接触气压浮动式测量装置，其特征在于，包括：气压腔（1）、进气孔（2）、U型卡规（3）、活塞（4）、单头螺杆（5）、刚性平台（8）、柔性铰链（12）、圆柱形铁芯（16）、第一次级线圈（17）、初级线圈（18）、第二次级线圈（19）、塑料轴承套（21）；气压腔（1）为圆锥形，气压腔（1）的顶角处开口，并且和U型卡规（3）固定连接，气压腔（1）的外壁上沿着同一圆周均匀设置若干进气孔（2）；活塞（4）连接气压腔（1）的底面，气压腔（1）内的气流推动活塞（4）滑动；活塞（4）另一端通过单头螺杆（5）和刚性平台（8）连接，刚性平台（8）同轴固定连接圆柱形铁芯（16）;刚性平台(8)通过柔性铰链(12)连接三条弹性支链,所述弹性支链和圆柱形铁芯(16)固定连接,所述弹性支链绕圆柱形铁芯(16)外围圆周等角度分布,所述弹性支链吸收活塞(4)施加的压力,并产生反作用力带动圆柱形铁芯(16)产生与活塞(4)位移方向相反的位移;圆柱形铁芯(16)另一端穿过轴承套(21), 第一次级线圈(17)、初级线圈（18）、第二次级线圈（19）依次连接，并套设在轴承套(21)外围，第一次级线圈（17）和第二次级线圈（19）的一对同名端连接，另一对同名端作为电压信号输出。