[发明专利]一种量子点全彩微显示器件的制备方法在审
申请号: | 201810438905.5 | 申请日: | 2018-05-09 |
公开(公告)号: | CN108511390A | 公开(公告)日: | 2018-09-07 |
发明(设计)人: | 李阳;游宝贵 | 申请(专利权)人: | 广东普加福光电科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/77 | 分类号: | H01L21/77 |
代理公司: | 广州骏思知识产权代理有限公司 44425 | 代理人: | 潘雯瑛 |
地址: | 529000 广东省江*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明涉及一种量子点全彩微显示器件的制备方法,先后利用三块具有特定设计的掩模板作为遮罩,依次将含有红、绿色量子点材料的树脂胶水涂覆并固化于蓝光Micro LED芯片阵列上的对应芯片上,形成红、绿、蓝三色像素的图案化排布,并避免红、绿胶层的相互窜扰,从而实现Micro LED的高精度全彩显示。 | ||
搜索关键词: | 微显示器件 量子点 全彩 制备 量子点材料 图案化排布 全彩显示 三色像素 树脂胶水 掩模板 蓝光 绿胶 涂覆 遮罩 固化 芯片 | ||
【主权项】:
1.一种量子点全彩微显示器件的制备方法,其特征在于:包括以下步骤:S1:将多个蓝光Micro LED芯片转移至衬底上,形成蓝光Micro LED芯片阵列;S2:选取第一掩模板,所述第一掩模板具有形状和面积大小与蓝光Micro LED芯片一致的开口;将第一掩模板紧贴放置于蓝光Micro LED芯片阵列上,使第一掩模板的开口位置和需要涂覆红色量子点材料的蓝光Micro LED芯片位置精准对位,形成第一空腔;S3:将含有红色量子点材料的树脂胶水均匀涂覆于第一掩模板上,使其顺着第一掩模板的开口流到需要涂覆红色量子点材料的蓝光Micro LED芯片上,填充第一空腔;S4:对所述含有红色量子点材料的树脂胶水进行固化处理,得到红色量子点胶层;S5:选取第二掩模板,所述第二掩模板与第一掩模板完全一致;将第二掩模板紧贴放置于第一掩模板上,使第二掩模板的开口位置与第一掩模板的开口位置对齐,形成第二空腔;S6:将疏油性树脂胶水均匀涂覆于第二掩模板上,使其顺着第二掩模板的开口流到红色量子点胶层上,填充第二空腔;S7:对所述疏油性树脂胶水进行固化处理,得到覆盖于红色量子点胶层上的疏油性树脂胶层;然后依次移去第二掩模板和第一掩模板;S8:选取第三掩模板,所述第三掩模板具有形状和面积大小与蓝光Micro LED芯片一致的第一开口和第二开口;将第三掩模板紧贴放置于蓝光Micro LED芯片阵列上,使第三掩模板的第一开口位置正好套住已经固化的红色量子点胶层,第二开口位置和需要涂覆绿色量子点材料的蓝光Micro LED芯片的位置精准对位,形成第三空腔;S9:将含有绿色量子点材料的树脂胶水均匀涂覆于第三掩模板上,使其顺着第三掩模板的第二开口流到需要涂覆绿色量子点材料的蓝光Micro LED芯片上,填充第三空腔;S10:对所述含有绿色量子点材料的树脂胶水进行固化处理,得到绿色量子点胶层;然后移去第三掩模板,除去覆盖于红色量子点胶层上的疏油性树脂胶层,从而红色量子点胶层、绿色量子点胶层以及未涂覆胶层的蓝光Micro LED芯片形成图案化的红、绿、蓝三色像素,制得量子点全彩微显示器件。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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