[发明专利]一种新型单晶硅片制绒添加剂的制造及简单制绒方法在审

专利信息
申请号: 201810440920.3 申请日: 2018-05-10
公开(公告)号: CN108660510A 公开(公告)日: 2018-10-16
发明(设计)人: 不公告发明人 申请(专利权)人: 天津赤霄科技有限公司
主分类号: C30B29/06 分类号: C30B29/06;C30B33/10;H01L31/0236;H01L31/18
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 300384 天津市南*** 国省代码: 天津;12
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摘要: 发明公开了一种新型单晶硅片制绒添加剂,其包含组分为:鼠李糖、双子表面活性剂、谷胱甘肽、邻苯二酚、乙二醇、氯化钡和余量的去离子水。本发明还公开了一种单晶硅片制绒液和一种简单制绒方法,制绒液含有碱溶液和上述的制绒添加剂,并在所述的制绒方法下对单晶硅片表面进行制绒。采用上述过程制作单晶硅片的绒面时,制绒时间缩短;所制的绒面金字塔均匀、细小、密集,反射率低;制绒工艺简单,制绒设备低廉,环境污染小,具有很好的实用价值。
搜索关键词: 制绒 单晶硅片 制绒添加剂 制绒液 绒面 双子表面活性剂 单晶硅片表面 谷胱甘肽 邻苯二酚 去离子水 时间缩短 制绒工艺 制绒设备 反射率 碱溶液 氯化钡 鼠李糖 乙二醇 金字塔 制作 制造
【主权项】:
1.一种新型单晶硅片制绒添加剂,其特征在于,其中包含的组分为鼠李糖、双子表面活性剂、谷胱甘肽、邻苯二酚、乙二醇、氯化钡和去离子水。
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