[发明专利]一种带自补偿功能的射频匹配箱有效
| 申请号： | 201810442376.6 | 申请日： | 2018-05-10 |
| 公开（公告）号： | CN108617073B | 公开（公告）日： | 2020-08-14 |
| 发明（设计）人： | 甄德海;杜晨;赵志明;孙福勋;余学斌 | 申请（专利权）人： | 武汉市福志成科技有限责任公司 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46 |
| 代理公司： | 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 | 代理人： | 杨立;李蕾 |
| 地址： | 430000 湖北省武汉市东湖新*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种具有自补偿功能的射频匹配箱，包括：位于壳体内的平板电容，其包括：金属间隔座，以及水平放置且从下往上依次间隔排列的低压电容调节片、高压电容固定片和高压电容调节片；高压电容固定片的一端与壳体绝缘固定连接，另一端与电感耦合等离子线圈电连接；低压电容调节片的一端和高压电容调节片的一端分别与竖直绝缘设置于壳体底板的金属间隔座活动连接，金属间隔座还与检测器电连接；低压电容调节片的另一端和高压电容调节片的另一端在控制器的控制下上下移动。本发明采用平板电容，在结构上就取消了高压和低压两个电容之间的连线，低压电容调节片的上下移动，实现硬件自补偿，且内部能量分布均匀，无需风扇，能耗小。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 补偿 功能 射频 匹配 | ||
【主权项】：
1.一种具有自补偿功能的射频匹配箱，包括：壳体(1)，位于所述壳体(1)内的相互连接的相位检测器(2)和控制器(3)，以及位于所述壳体(1)外的电感耦合等离子线圈(4)，其特征在于，还包括：位于所述壳体(1)内的平板电容(5)；所述平板电容(5)包括：金属间隔座(51)，以及水平放置且从下往上依次间隔排列的低压电容调节片(52)、高压电容固定片(53)和高压电容调节片(54)；所述金属间隔座(51)竖直绝缘设置于所述壳体(1)的底板的上表面，且与所述相位检测器(2)电连接；所述高压电容固定片(53)的一端与所述壳体(1)绝缘固定连接，另一端与所述电感耦合等离子线圈(4)电连接；所述低压电容调节片(52)的一端和所述高压电容调节片(54)的一端分别与所述金属间隔座(51)连接；所述低压电容调节片(52)的另一端和所述高压电容调节片(54)的另一端在所述控制器(3)的控制下上下移动。
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