[发明专利]三甲基镓的收集方法

摘要

本发明涉及三甲基镓的收集装置及方法，三甲基镓灌装容器、收集储罐、第一冷阱和第二冷阱依次接入主管路，三甲基镓灌装容器通过连接支路连接至主管路的前端，收集储罐、第一冷阱和第二冷阱各自分别通过进向支路和出向支路连接主管路，三甲基镓灌装容器、收集储罐、第一冷阱和第二冷阱各自分别连接尾气管路系统，真空管路系统连接至主管路的后端，氮气管路系统连接主管路。将三甲基镓灌装容器中残留的三甲基镓通过真空收集至收集储罐和冷阱中，收集储罐收集三甲基镓灌装容器中的大量剩余三甲基镓，冷阱在液氮浸泡的环境中收集少量残留三甲基镓，尾气通过尾气管路系统排放。通过真空收集，降低三甲基镓自燃风险，避免对环境影响，废弃物再利用。

主权项

1.三甲基镓的收集装置，其特征在于：包含三甲基镓灌装容器、收集储罐、第一冷阱、第二冷阱、真空管路系统以及氮气管路系统，所述三甲基镓灌装容器、收集储罐、第一冷阱和第二冷阱依次接入主管路，所述三甲基镓灌装容器通过连接支路连接至主管路的前端，所述收集储罐、第一冷阱和第二冷阱各自分别通过进向支路和出向支路连接主管路，所述三甲基镓灌装容器、收集储罐、第一冷阱和第二冷阱各自分别连接尾气管路系统，所述真空管路系统连接至主管路的后端，所述氮气管路系统连接主管路。