[发明专利]掺硼金刚石/石墨复合电极及制备方法、双电池反应器在审
申请号: | 201810446293.4 | 申请日: | 2018-05-10 |
公开(公告)号: | CN108408848A | 公开(公告)日: | 2018-08-17 |
发明(设计)人: | 唐永炳;谷继腾;杨扬;李子豪;张文军 | 申请(专利权)人: | 深圳先进技术研究院 |
主分类号: | C02F1/461 | 分类号: | C02F1/461;C02F1/467 |
代理公司: | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人: | 郝传鑫;熊永强 |
地址: | 518055 广东省深圳*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明提供了一种掺硼金刚石/石墨复合电极,包括石墨基体以及依次层叠设置于所述石墨基体上的硅碳化合物层和掺硼金刚石层。由于硅碳化合物的热膨胀系数在石墨和掺硼金刚石的热膨胀系数的中间值范围内,因此硅碳化合物作为中间过渡层使得掺硼金刚石/石墨复合电极各层之间的热膨胀系数之差变小。最终降低了热残余应力对膜基结合力的影响,提高了掺硼金刚石/石墨复合电极的膜基结合力。本发明还提供了一种复合电极的制备方法,工艺简单,成本低廉,硅碳化合物层的沉积避免了对腔室的污染,具有很大的工业实用性。 | ||
搜索关键词: | 掺硼金刚石 石墨复合电极 硅碳化合物 热膨胀系数 膜基结合力 石墨基体 制备 工业实用性 中间过渡层 残余应力 复合电极 依次层叠 反应器 石墨 双电池 变小 腔室 沉积 污染 | ||
【主权项】:
1.一种掺硼金刚石/石墨复合电极,其特征在于,包括石墨基体以及依次层叠设置于所述石墨基体上的硅碳化合物层和掺硼金刚石层。
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