[发明专利]基于电场偏转的电推进羽流沉积效应的测量装置在审
| 申请号： | 201810446956.2 | 申请日： | 2018-05-11 |
| 公开（公告）号： | CN108872000A | 公开（公告）日： | 2018-11-23 |
| 发明（设计）人： | 商圣飞;向树红;姜利祥;孙继鹏;韩然;夏彦;欧学东;杨艳静 | 申请（专利权）人： | 北京卫星环境工程研究所 |
| 主分类号： | G01N5/02 | 分类号： | G01N5/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100094 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种基于电场偏转的电推进羽流沉积效应测量装置，包括QCM污染测量传感器，正负极板，QCM安装支架和前挡板以及左右挡板，其中正极板和负极板分别通过绝缘垫和四个支撑挡板连接形成封闭的测量室，其中，QCM污染测量传感器设置在QCM安装支架上，正负极板分布在测量室上下，前挡板中间设置有测量限制孔，该孔大小需要通过QCM测量有效面积和被测推力器视野连线与前挡板的交点确定，负极板为主要承担带电粒子偏转轰击的侧板，其内表面添加石墨片。本发明可有效过滤到返流的CEX离子对测试基材的溅射作用，且采用磁偏转不会增加CEX的能量，同时在右侧支板安装石墨防溅射材料，大大减小二次溅射对污染测量的影响。 | ||
| 搜索关键词： | 偏转 前挡板 测量传感器 电场 安装支架 正负极板 测量室 电推进 负极板 溅射 羽流 沉积 污染 测量 挡板 表面添加 测量限制 测量装置 测试基材 带电粒子 效应测量 有效面积 右侧支板 支撑挡板 中间设置 磁偏转 防溅射 绝缘垫 石墨片 推力器 正极板 石墨 侧板 返流 减小 连线 轰击 过滤 离子 封闭 视野 | ||
【主权项】：
1.基于电场偏转的电推进羽流沉积效应测量装置，包括QCM污染测量传感器，平行相对设置的正极板和负极板，平行相对设置的QCM安装支架和前挡板，以及平行相对设置的左挡板和右挡板，其中正极板和负极板分别通过绝缘垫和前后左右四个支撑挡板连接形成封闭的测量室，其中，QCM污染测量传感器设置在QCM安装支架上，正极板和负极板分布在测量室上下，所述前挡板中间设置有测量限制孔，该孔大小需要通过QCM测量有效面积和被测推力器视野连线与前挡板的交点确定，保证测量限制孔通过推力器来流的沉积污染物，同时阻挡其他方向来的干扰物；负极板为主要承担带电粒子偏转轰击的侧板，其内表面添加石墨片，且QCM安装支架的侧板内壁也设置石墨片防止部分沉积污染。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京卫星环境工程研究所，未经北京卫星环境工程研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201810446956.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
