[发明专利]一种光学表面间距非接触式测量装置和方法

摘要

本发明属于光学测量技术领域，具体涉及一种光学表面间距非接触式测量装置和方法，本发明通过扫频光学相干层析(SSOCT)原理进行光学间隔非接触式测量，单次测量深度可达数十毫米，对于大部分的光学系统可以一次探测完成多个光学表面同时测量，配合参考臂移动进行分段式测量实现大量程，且测量精度完全取决于系统轴向分辨率；本发明还进一步优化了测量光路，在可调焦测量臂增加调焦模组，根据样品参数选择合适的聚焦光路，可以更好的收集各光学表面的反射光信号，提高干涉信号强度；在可位移参考臂中增加消色差透镜，可调焦测量臂的调焦模组和可位移参考臂的透镜组都是消色差透镜，有利于进一步提高测量精度。

主权项

1.一种光学表面间距非接触式测量装置，其特征在于，包括扫频宽带光源、红光指示光源、马赫‑曾德干涉结构、迈克尔逊干涉结构、可调焦测量臂、可位移参考臂、数据采集卡、计算机和光纤；其中所述扫频宽带光源通过光纤与所述马赫‑曾德干涉结构相连，所述马赫‑曾德干涉结构通过光纤与所述迈克尔逊干涉结构相连，所述迈克尔逊干涉结构通过光纤分别与所述可调焦测量臂和可位移参考臂相连，所述迈克尔逊干涉结构通过光纤还与红光指示光源相连，所述迈克尔逊干涉结构还与数据采集卡电性连接，所述马赫‑曾德干涉结构分别通过功率检测线路和波矢标定线路与数据采集卡电性连接，所述数据采集卡与所述计算机电性连接。