[发明专利]一种激光白光复合干涉测量系统及方法有效
| 申请号： | 201810448837.0 | 申请日： | 2018-05-11 |
| 公开（公告）号： | CN108645335B | 公开（公告）日： | 2021-01-19 |
| 发明（设计）人： | 杨树明;薛兴昌;张国锋;杨新宇;杨林林;吉培瑞 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 徐文权 |
| 地址： | 710049 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种激光白光复合干涉测量装置及方法，可以将单色光相移干涉与白光扫描干涉相结合，提高系统的测量性能。该测量装置包括白光LED光源、准直透镜、滤光片、光学显微干涉模块和图像采集装置。测量方法是首先对被测样品进行白光扫描干涉测量。然后进行单色光相移干涉测量，只需在分光镜前放置滤光片即可，其它部分与白光扫描干涉相同。将白光扫描干涉测量结果与单色光相移干涉测量结果相结合，可以解决单色光相移干涉中存在的相位模糊问题；相对于白光扫描干涉，复合干涉测量结果具有更高的精度。另外，本发明复合干涉测量系统采用Michelson干涉结构，其横向测量范围远大于商业白光干涉Mirau结构的测量范围，对于大尺寸零件表面检测具有更大优势。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 激光 白光 复合 干涉 测量 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种激光白光复合干涉测量系统，其特征在于，包括白光LED光源(1)、准直透镜(2)、光学显微干涉模块和图像采集装置，光学显微干涉模块包括分光镜(4)、参考镜(5)、显微物镜(8)以及由压电陶瓷位移台(6)和控制器(7)组成的闭环微位移系统，图像采集装置包括CCD光电探测器(9)和计算机(10)；其中，在进行白光扫描干涉测量时，由白光LED光源(1)发出的光经过准直透镜(2)之后变为平行光，再经过分光镜(4)之后变为两束相互垂直的平行光束，两束光分别投射到参考镜(5)和待测样品(11)上，由参考镜(5)反射的参考光与由待测样品(11)表面反射的测量光相遇，形成干涉条纹；干涉条纹经过显微物镜(8)后投射到CCD光电探测器(9)上；参考镜(5)固定在压电陶瓷位移台(6)上，用于实现轴向移动完成相移和扫描过程；在测量过程中，CCD光电探测器(9)通过上位机程序控制，压电陶瓷位移台(6)每移动一个位置，CCD光电探测器(9)拍摄一次，之后CCD光电探测器(9)将采集到的干涉信息传输到计算机(10)中用于后续处理。
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