[发明专利]Cu/CuI/ZnO结构的紫外光探测器及其制备方法有效
申请号: | 201810454313.2 | 申请日: | 2018-05-14 |
公开(公告)号: | CN108649094B | 公开(公告)日: | 2020-08-14 |
发明(设计)人: | 李谊;孙志鹏;韩笑;吴雪卫;周伟欣;陈剑宇;马延文 | 申请(专利权)人: | 南京邮电大学 |
主分类号: | H01L31/109 | 分类号: | H01L31/109;H01L31/0352;H01L31/18 |
代理公司: | 南京苏科专利代理有限责任公司 32102 | 代理人: | 牛莉莉 |
地址: | 210003 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明涉及一种Cu/CuI/ZnO结构的紫外光探测器及其制备方法,在柔性、透明的衬底上通过喷涂沉积一层铜纳米线(Cu NWs)导电网络薄膜,然后通过碘化,使单质碘与Cu NWs表面反应得到CuI的外层。接下来用溶胶‑凝胶法在Cu/CuI结构上面预生长一层氧化锌的晶种,再采用低温水热的方法在Cu/CuI结构上面生长氧化锌纳米材料的活性层,然后在上面制备电极制得紫外传感器件。该紫外传感器的透光度在60%以上,在2v的电压下具有良好的紫外传感性能,而且具有良好的机械性能,在弯折1000次后还可以保持原来的传感性能不发生衰减。本发明工艺简单,成功的制备了一种异质结结构,可以大规模制备。 | ||
搜索关键词: | cu cui zno 结构 紫外光 探测器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
1.Cu/CuI/ZnO结构的紫外光探测器,其特征在于:由内至外依次包括衬底、Cu/CuI/ZnO双壳层结构及电极层;所述衬底的外表面覆盖有铜纳米线制备而成的导电网络薄膜层,所述薄膜层的外表面具有碘化后形成的P型CuI壳层,所述P型CuI壳层与在其上面生长的N型ZnO壳层形成CuI/ZnO异质结结构;所述铜纳米线的长度为5~20μm,直径为80~120 nm;所述ZnO壳层,通过水热法在CuI壳层表面生长形成,ZnO纳米材料轴向生长于Cu/CuI线上。
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H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
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H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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