[发明专利]基板处理装置、存储介质和基板处理方法有效
| 申请号： | 201810454515.7 | 申请日： | 2018-05-14 |
| 公开（公告）号： | CN109216146B | 公开（公告）日： | 2022-10-25 |
| 发明（设计）人： | 西脇和浩 | 申请（专利权）人： | ASMIP控股有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京汇信合知识产权代理有限公司 11335 | 代理人： | 翟国明 |
| 地址： | 荷兰阿*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 基板处理装置的例子，基板处理装置包括：信号发射器，其输出命令信号；RF发生器，其接收命令信号，在命令信号的第一转变的同时开始输出行波功率，测量延迟时间，该延迟时间是在命令信号的第一转变之后直到在行波功率的接收侧实现预定功率施加状态的时间段，以及在命令信号的第二转变之后经过了延迟时间时停止输出行波功率。 | ||
| 搜索关键词： | 处理 装置 存储 介质 方法 | ||
【主权项】：
1.一种基板处理装置，包括：信号发射器，所述信号发射器被配置为输出命令信号；以及RF发生器，所述RF发生器被配置为接收所述命令信号，以在所述命令信号的第一转变的同时开始输出行波功率以及测量延迟时间，所述延迟时间是在所述命令信号的第一转变之后直到在所述行波功率的接收侧实现预定功率施加状态的时间段，并且进一步配置为在所述命令信号的第二转变之后经过了所述延迟时间时，停止输出所述行波功率。
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