[发明专利]一种基于固体反射层的声表面波谐振器及其制造方法在审
| 申请号： | 201810455144.4 | 申请日： | 2018-05-14 |
| 公开（公告）号： | CN108449066A | 公开（公告）日： | 2018-08-24 |
| 发明（设计）人： | 王国浩 | 申请（专利权）人： | 杭州左蓝微电子技术有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/25 | 分类号： | H03H9/25;H03H9/02;H03H3/08 |
| 代理公司： | 北京中知法苑知识产权代理事务所(普通合伙) 11226 | 代理人： | 李明 |
| 地址： | 311228 浙江省杭州市杭州经济技术开发*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种基于固体反射层的声表面波谐振器，所述声表面波谐振器包括基片、位于该基片上方的压电材料基板以及形成于该压电材料基板上的叉指结构；在所述基片和所述压电材料基板之间设有至少一组反射层组，各组反射层组均包括第一布拉格反射层及位于该第一布拉格反射层上的第二布拉格反射层。本发明还提供了一种声表面波谐振器的制造方法，通过上述方法形成的声表面波谐振器能使漏波能通过固体反射层的布拉格反射回来，从而提高谐振器的Q值。 | ||
| 搜索关键词： | 声表面波谐振器 布拉格反射层 压电材料基板 反射层 反射层组 布拉格反射 叉指结构 谐振器 漏波 制造 | ||
【主权项】：
1.一种基于固体反射层的声表面波谐振器，其特征在于，所述声表面波谐振器包括基片、位于该基片上方的压电材料基板以及形成于该压电材料基板上的叉指结构；在所述基片和所述压电材料基板之间设有至少一组反射层组，各组反射层组均包括第一布拉格反射层及位于该第一布拉格反射层上的第二布拉格反射层。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于杭州左蓝微电子技术有限公司，未经杭州左蓝微电子技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201810455144.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种片式频率器件设备
- 下一篇：体声波滤波器
