[发明专利]用于通过原子层沉积将过渡金属氮化物膜沉积在基材上的方法和相关沉积设备

摘要

本申请公开了用于通过原子层沉积将过渡金属氮化物膜沉积在基材上的方法和相关沉积设备。所述方法包括：在反应空间内的基材支架上提供至少一个基材；至少在至少一个腔室壁上暴露于气相反应物中的那些部分处控制至少一个腔室壁的温度；控制喷头的温度；将至少两种气相反应物交替并依序地进料到反应空间中，其中将喷头的温度控制在介于大致80℃与大致160℃之间的温度下。所述设备包括：安置于反应空间内的基材支架；控制至少一个腔室壁的温度的温度控制系统；以及控制喷头温度的温度控制系统。所述方法和系统不仅允许沉积高品质过渡金属氮化物膜，而且允许大量制造此类过渡金属氮化物膜。

主权项

1.一种用于通过在由至少一个腔室壁和喷头界定的反应空间中进行原子层沉积而将过渡金属氮化物膜沉积在基材上的方法，所述方法包括：在所述反应空间内的基材支架上提供至少一个基材；至少在所述至少一个腔室壁上暴露于气相反应物中的那些部分处控制所述至少一个腔室壁的温度；控制喷头的温度；以及将至少两种气相反应物交替并依序地进料到所述反应空间中，并且其中将所述喷头的温度控制在介于大致80℃与大致160℃之间的温度下。