[发明专利]基于激光干涉的位移测量误差标定装置在审
| 申请号： | 201810456435.5 | 申请日： | 2018-05-14 |
| 公开（公告）号： | CN108917611A | 公开（公告）日： | 2018-11-30 |
| 发明（设计）人： | 周伟静;洪延姬;常浩;金星;叶继飞 | 申请（专利权）人： | 中国人民解放军战略支援部队航天工程大学 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02;G01B7/02 |
| 代理公司： | 北京元周律知识产权代理有限公司 11540 | 代理人： | 李花 |
| 地址： | 101416*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于激光干涉的位移测量误差标定装置，包括：测量对象模拟部件，包括棱镜，棱镜设置于测量对象模拟部件上并随测量对象模拟部件运动；激光干涉组件，与棱镜光路连接，并随测量对象模拟部件的运动产生激光干涉输出；待标定传感器探头，待标定传感器探头正对棱镜设置，测量待标定传感器探头到测量对象模拟对象的线性距离；拟合传感器输出和激光干涉输出得到传感器的非线性误差和非平行误差；测量对象模拟部件的运动为测量对象模拟部件绕转轴转动和测量对象模拟部件靠近或远离待标定传感器探头。该装置能够同时实现微推力微冲量测量中微小位移测量装置的非线性误差和非平行误差标定，具有较好的通用性。 | ||
| 搜索关键词： | 测量对象 模拟部件 激光干涉 标定传感器 棱镜 探头 位移测量误差 非线性误差 标定装置 非平行 传感器 输出 微小位移测量装置 微冲量测量 光路连接 模拟对象 误差标定 线性距离 运动产生 转轴转动 微推力 拟合 正对 测量 | ||
【主权项】：
1.一种基于激光干涉的位移测量误差标定装置，其特征在于，包括：测量对象模拟部件，包括反透射棱镜，所述反透射棱镜设置于测量对象模拟部件上并随所述测量对象模拟部件运动；激光干涉组件，与所述反透射棱镜光路连接，并随所述测量对象模拟部件的运动产生激光干涉输出；待标定传感器探头，所述待标定传感器探头正对所述反透射棱镜设置，测量所述待标定传感器探头与所述测量对象模拟部件之间的线性距离；拟合所述传感器输出和所述激光干涉输出得到所述传感器的非线性误差和非平行误差；所述测量对象模拟部件的运动为所述测量对象模拟部件绕转轴转动和所述测量对象模拟部件靠近或远离所述待标定传感器探头。
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