[发明专利]半导体封装件及其形成方法有效
申请号: | 201810460994.3 | 申请日: | 2018-05-15 |
公开(公告)号: | CN109786266B | 公开(公告)日: | 2021-07-13 |
发明(设计)人: | 陈洁;陈英儒;陈宪伟 | 申请(专利权)人: | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/56 | 分类号: | H01L21/56;H01L23/31;H01L25/16 |
代理公司: | 北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409 | 代理人: | 章社杲;李伟 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | 在实施例中,封装件包括第一封装结构,该第一封装结构包括:具有有源侧和背侧的第一集成电路管芯,有源侧包括管芯连接件;邻近第一集成电路管芯的第二集成电路管芯,第二集成电路管芯具有有源侧和背侧,有源侧包括管芯连接件;布线管芯,布线管芯包括接合至第一集成电路管芯和第二集成电路管芯的有源侧的管芯连接件,布线管芯将第一集成电路管芯电连接至第二集成电路管芯;密封第一集成电路管芯、第二集成电路管芯和布线管芯的密封剂;以及位于第一集成电路管芯和第二集成电路管芯的管芯连接件上并且电连接至第一集成电路管芯和第二集成电路管芯的管芯连接件的第一再分布结构。本发明的实施例还涉及半导体封装件及其形成方法。 | ||
搜索关键词: | 半导体 封装 及其 形成 方法 | ||
【主权项】:
1.一种封装件,包括:第一封装结构,包括:第一集成电路管芯,具有有源侧和背侧,所述有源侧包括管芯连接件;第二集成电路管芯,邻近所述第一集成电路管芯,所述第二集成电路管芯具有有源侧和背侧,所述有源侧包括管芯连接件;布线管芯,接合至所述第一集成电路管芯和所述第二集成电路管芯,所述布线管芯具有前侧和背侧,所述布线管芯的前侧包括管芯连接件,所述布线管芯的所述管芯连接件接合至所述第一集成电路管芯和所述第二集成电路管芯的有源侧,所述布线管芯将所述第一集成电路管芯电连接至所述第二集成电路管芯;密封剂,密封所述第一集成电路管芯、所述第二集成电路管芯和所述布线管芯;以及第一再分布结构,位于所述第一集成电路管芯和所述第二集成电路管芯的管芯连接件上并且电连接至所述第一集成电路管芯和所述第二集成电路管芯的管芯连接件,所述布线管芯位于所述第一再分布结构与所述第一集成电路管芯和所述第二集成电路管芯之间。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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