[发明专利]微波与等离子体耦合率可调的谐振腔及微波等离子体装置有效
| 申请号： | 201810462305.2 | 申请日： | 2018-05-15 |
| 公开（公告）号： | CN108538696B | 公开（公告）日： | 2020-04-07 |
| 发明（设计）人： | 阮存军;刘静;戴军;孔德胤;李仁杰 | 申请（专利权）人： | 北京航空航天大学 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 王莹;吴欢燕 |
| 地址： | 100191*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明实施例提供了一种大功率微波与其激发产生的等离子体耦合率可调的谐振腔，包括：圆柱谐振腔、等离子体生成装置、支撑装置及调节装置；等离子体生成装置，与支撑装置连接；支撑装置，一端连接等离子体生成装置，另一端连接调节装置；调节装置，与支撑装置连接；谐振腔，用于产生激发等离子所需的强微波场，包裹等离子体生成装置、支撑装置及调节装置。本发明实施例还提供了一种高效率的微波等离子体装置,包括：微波传输装置及上述谐振腔；微波传输装置与微波和等离子体耦合率可调的谐振腔耦合一起，用于向微波与等离子体耦合率可调的谐振腔内传输大功率微波并激发等离子体。本发明可以获取动态可调与最大化的等离子体电离效率。 | ||
| 搜索关键词： | 微波 等离子体 耦合 可调 谐振腔 装置 | ||
【主权项】：
1.一种微波与等离子体耦合率可调的谐振腔，其特征在于，包括：等离子体生成装置、支撑装置、调节装置及谐振腔壁；所述等离子体生成装置，与所述支撑装置连接，用于生成等离子体；所述支撑装置，一端连接所述等离子体生成装置，另一端连接所述调节装置，用于支撑所述等离子体生成装置；所述调节装置，与所述支撑装置连接，用于调节所述等离子体生成装置在所述微波与等离子体耦合率可调的谐振腔内的位置；所述谐振腔壁，包裹所述等离子体生成装置、支撑装置及调节装置，用于形成所述微波与等离子体耦合率可调的谐振腔。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京航空航天大学，未经北京航空航天大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201810462305.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
