[发明专利]一种自动探针测试装置及系统在审
| 申请号： | 201810463164.6 | 申请日： | 2018-05-15 |
| 公开（公告）号： | CN108646093A | 公开（公告）日： | 2018-10-12 |
| 发明（设计）人： | 范一松;郭强;苏锐 | 申请（专利权）人： | 中国科学院合肥物质科学研究院 |
| 主分类号： | G01R27/02 | 分类号： | G01R27/02 |
| 代理公司： | 北京科家知识产权代理事务所(普通合伙) 11427 | 代理人： | 陈娟 |
| 地址： | 230031 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种自动探针测试装置，包括：侧板、底板、探头支架和移动机构，所述侧板的底部一端与所述底板的一端相连，且所述底板用于放置待测器件，所述探头支架与所述移动机构的一端固定相连，所述移动机构的另一端沿着所述侧板的轴向方向滑动连接；所述探头支架上设置有多组四针探头，每一组四针探头上至少包括一个四针探头，且所述四针探头在所述探头支架上可沿横向和纵向移动。另外，本发明还提供了一种基于该装置的自动探针测试装系统。利用本发明实施例，提高待测器件的测试效率，以及减少测试过程中进行人为的手动移动待测器件，减少器件的损坏几率。 | ||
| 搜索关键词： | 探头支架 底板 待测器件 移动机构 自动探针 探头 侧板 测试装置 测试过程 测试效率 滑动连接 手动移动 轴向方向 针探 测试 | ||
【主权项】：
1.一种自动探针测试装置，其特征在于，包括：侧板、底板、探头支架和移动机构，所述侧板的底部一端与所述底板的一侧相连，所述底板用于放置待测器件，所述探头支架与所述移动机构的一端固定相连，所述移动机构的另一端沿着所述侧板的轴向方向滑动连接；所述探头支架上设置有多组四针探头，每一组四针探头上至少包括一个四针探头，且所述四针探头在所述探头支架上可沿横向和纵向移动。
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