[发明专利]激光焦点偏移量消除方法有效
申请号: | 201810463311.X | 申请日: | 2018-05-15 |
公开(公告)号: | CN108581243B | 公开(公告)日: | 2020-06-09 |
发明(设计)人: | 范国成;万虹;王燕灵;蒋磊;肖俊君;陈根余;陈焱;高云峰 | 申请(专利权)人: | 大族激光科技产业集团股份有限公司;深圳市大族智能装备科技有限公司 |
主分类号: | G06F30/20 | 分类号: | G06F30/20;G06F30/17 |
代理公司: | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人: | 何平 |
地址: | 518057 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明涉及一种激光焦点偏移量消除方法,用于消除包括激光光源及透镜的激光设备对工件加工过程中,因透镜热形变引起的焦点偏移量,所述方法包括如下步骤:建立激光设备的多物理场耦合模型;计算所述多物理场耦合模型,得到焦点偏移量;补偿所述焦点偏移量。上述激光焦点偏移量消除方法通过建立激光设备的耦合分析模型,计算得到激光设备光学系统的焦点偏移量,避免使用昂贵的光学仪器检测焦点偏移量,降低了作业成本。 | ||
搜索关键词: | 激光 焦点 偏移 消除 方法 | ||
【主权项】:
1.一种激光焦点偏移量消除方法,用于消除包括激光光源及透镜的激光设备对工件加工过程中,因透镜热形变引起的焦点偏移量,其特征在于,所述方法包括如下步骤:建立激光设备的多物理场耦合模型;计算所述多物理场耦合模型,得到焦点偏移量;补偿所述焦点偏移量,以使焦点位于所述工件上。
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