[发明专利]一种管状靶材的内旋转高温烧结方法在审
| 申请号： | 201810466234.3 | 申请日： | 2018-05-16 |
| 公开（公告）号： | CN108409340A | 公开（公告）日： | 2018-08-17 |
| 发明（设计）人： | 舒永春;陈杰;孙本双;曾学云;刘洋 | 申请（专利权）人： | 郑州大学 |
| 主分类号： | C04B35/64 | 分类号： | C04B35/64;C04B35/453;C04B35/10 |
| 代理公司： | 北京卫智畅科专利代理事务所(普通合伙) 11557 | 代理人： | 唐维铁 |
| 地址： | 450001 河南省郑*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种管状靶材的内旋转高温烧结方法，包括管状靶材素坯成型、加热烧结管状靶材素坯，加热过程中使管状靶材素坯处于旋转状态，以及，降温直至室温、得到烧结好的管状靶材。本发明实施例公开的管状靶材的内旋转高温烧结方法，能够制备出收缩均匀、无开裂、无烧结变形的管状靶材，制备方法简单，易于工业化应用。 | ||
| 搜索关键词： | 管状靶材 高温烧结 内旋转 烧结 素坯 制备 工业化应用 加热过程 烧结变形 素坯成型 旋转状态 加热 收缩 | ||
【主权项】：
1.一种管状靶材的内旋转高温烧结方法，包括如下步骤：S1、管状靶材素坯成型；S2、加热烧结管状靶材素坯，加热过程中使所述管状靶材素坯处于旋转状态；S3、降温，停止旋转，直至室温，得到烧结好的管状靶材。
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