[发明专利]半导体器件在审

专利信息
申请号: 201810467183.6 申请日: 2018-05-16
公开(公告)号: CN109003975A 公开(公告)日: 2018-12-14
发明(设计)人: 刘贤琯;姜沅衡;金孝珍;閔崇富 申请(专利权)人: 三星电子株式会社
主分类号: H01L27/088 分类号: H01L27/088;H01L29/78
代理公司: 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 代理人: 刘培培;黄隶凡
地址: 韩国京畿道水*** 国省代码: 韩国;KR
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摘要: 发明提供一种半导体器件。所述半导体器件包括:第一鳍型图案及第二鳍型图案,分别沿第一方向在衬底上延伸;第一栅极结构及第二栅极结构,彼此间隔开并在第一鳍型图案及第二鳍型图案上在与第一方向相交的第二方向上延伸;以及共享外延图案,在第一栅极结构与第二栅极结构之间连接第一鳍型图案与第二鳍型图案,其中所述共享外延图案的上表面包括:第一共享斜坡及第二共享斜坡,连接第一栅极结构与第二栅极结构;第三共享斜坡,接触第一栅极结构并连接第一共享斜坡与第二共享斜坡;以及第四共享斜坡,接触第二栅极结构并连接第一共享斜坡与第二共享斜坡。
搜索关键词: 栅极结构 斜坡 共享 图案 鳍型 半导体器件 上表面 延伸 衬底 相交
【主权项】:
1.一种半导体器件,其特征在于,包括:第一鳍型图案及第二鳍型图案,分别沿第一方向在衬底上延伸;第一栅极结构及第二栅极结构,彼此间隔开并在所述第一鳍型图案及所述第二鳍型图案上在与所述第一方向相交的第二方向上延伸;以及共享外延图案,在所述第一栅极结构与所述第二栅极结构之间连接所述第一鳍型图案与所述第二鳍型图案,其中所述共享外延图案的上表面包括:第一共享斜坡及第二共享斜坡,连接所述第一栅极结构与所述第二栅极结构,第三共享斜坡,接触所述第一栅极结构并连接所述第一共享斜坡与所述第二共享斜坡,以及第四共享斜坡,接触所述第二栅极结构并连接所述第一共享斜坡与所述第二共享斜坡。
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