[发明专利]半导体器件在审
申请号: | 201810467183.6 | 申请日: | 2018-05-16 |
公开(公告)号: | CN109003975A | 公开(公告)日: | 2018-12-14 |
发明(设计)人: | 刘贤琯;姜沅衡;金孝珍;閔崇富 | 申请(专利权)人: | 三星电子株式会社 |
主分类号: | H01L27/088 | 分类号: | H01L27/088;H01L29/78 |
代理公司: | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人: | 刘培培;黄隶凡 |
地址: | 韩国京畿道水*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | 本发明提供一种半导体器件。所述半导体器件包括:第一鳍型图案及第二鳍型图案,分别沿第一方向在衬底上延伸;第一栅极结构及第二栅极结构,彼此间隔开并在第一鳍型图案及第二鳍型图案上在与第一方向相交的第二方向上延伸;以及共享外延图案,在第一栅极结构与第二栅极结构之间连接第一鳍型图案与第二鳍型图案,其中所述共享外延图案的上表面包括:第一共享斜坡及第二共享斜坡,连接第一栅极结构与第二栅极结构;第三共享斜坡,接触第一栅极结构并连接第一共享斜坡与第二共享斜坡;以及第四共享斜坡,接触第二栅极结构并连接第一共享斜坡与第二共享斜坡。 | ||
搜索关键词: | 栅极结构 斜坡 共享 图案 鳍型 半导体器件 上表面 延伸 衬底 相交 | ||
【主权项】:
1.一种半导体器件,其特征在于,包括:第一鳍型图案及第二鳍型图案,分别沿第一方向在衬底上延伸;第一栅极结构及第二栅极结构,彼此间隔开并在所述第一鳍型图案及所述第二鳍型图案上在与所述第一方向相交的第二方向上延伸;以及共享外延图案,在所述第一栅极结构与所述第二栅极结构之间连接所述第一鳍型图案与所述第二鳍型图案,其中所述共享外延图案的上表面包括:第一共享斜坡及第二共享斜坡,连接所述第一栅极结构与所述第二栅极结构,第三共享斜坡,接触所述第一栅极结构并连接所述第一共享斜坡与所述第二共享斜坡,以及第四共享斜坡,接触所述第二栅极结构并连接所述第一共享斜坡与所述第二共享斜坡。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
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